CT_PECVD培训解答.ppt

To Power Our Future;;沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来 适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积 时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的 确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印 镀膜不良，应及时挑出做返工处理。 ;Handing界面的介绍 ;BOAT信息设置方法介绍 ; ;舟号 ;此舟的当前实际位置 ;工艺号选项,选择当前需要进行的或者已经 在进行的工艺号,后面Recipe error 前面若是有红色X请点击后取消它 ;如果出现下列的信息,就表明你设定的信息 系统可以接受,但是你必须对你所设定的信息 再次进行确认,如果不能显示此信息,就说明 你设定的是错误的,系统将会自动跳转到你 设定错误的那一步,要求你重新进行设定。 ;特殊情况下如何进行手动关门 ;3）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。 ;PECVD工艺流程; 10.wait until all zones are on min .temperature 恒温 ;19.unloading boat 退舟 20.end of process 结束工艺 PECVD操作注意事项（下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏） 1.SLS处于“UP”位置时，管内有舟时不可手动进桨。 2.SLS处于“Down”位置时，桨上有舟时不得手动进舟。 3.桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 4.进舟，退舟失败报警时，一定要检查舟的位置是否在合理的位置，才可以对报警进行复位。自动/手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置， 请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位（炉门是以桨的位置作为开闭的标准）。图（4）（5） ;5.舟位于存储架（storage2，storage3）时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图（2）（3），否则有可能导致撞舟。 6.清理碎片时要注意热探针（两根玻璃棒）清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。图（6） 7.从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在Middle位置，否则机械臂有可能无法正常运行而报警。??（7） 8.进退舟时，小车不得混用，并且务必确认小车有无被缩定。 9.进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及Tube=ready，SLS=up，TGA=yes，然后进行其他操作 10.小车被锁定后，不得转动石墨电极的方向。图（7）否则石墨电极会撞到桨或者机械臂 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极。;真空管;气体;舟;1、Manual Tab Vacuum Tube Pressure ;4、Manual Boat Position Setpoint 输入10