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Model225
Model 225 ?
超高纯压力变送器
Setra GCT-225 系列超高纯压力变送器专门设计用于半
导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工
作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。
GCT-225 系列采用可旋转的外罩结构,用户可方便地调
节用于零点和量程微调的 12 圈电位计。标准的旋转外螺
纹 / 内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。
此外,该系列产品还选用多种其他接口类型。GCT-225
系列产品提供5 VDC、10 VDC或4-20 mA三种输出类型,
可使用六英尺多芯电缆及卡口、D-Sub 或 M12x1 接头进
行电气连接。
GCT-225 系列压力变送器采用 Setra 专利的可变电容技 ■ 泄露率低
术,配有 VIM/ VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘
■
电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时, VCR 接头
隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化, ■ 易于吹扫的小腔室
并将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 独特的定
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
制集成电路采用专利的电荷平衡原理制成,几乎不受 EMI/
RFI 干扰。
特性
在制造和装配完成后,Setra 超高纯压力变送器还要接受 ·316 L VIM/VAR 不锈钢
去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气 ·表面抛光度 7 Ra
充注和密封等处理,最后才发货。
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
注 :Setra的质量标准是根据 ANSI-Z540 制定的。该产品
·坚固耐用,无故障安装
的标定具有 NIST 可追踪性,美国专利号。
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合 CE 和 RoHS 标准要求
耐压 / 破裂压
应用
满量程范围 最小耐压 最小破裂压
(或同等压力范围) PSIG PSIG
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