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edx(jed—2200f)资料
-JEOL JED-2200F- (EDX or EDS) 目录 JEOL JED-2200F 1. EDX是什么? 2. 分析原理 3. 分析方法与数据的读取方法 3-(1) 点分析 3-(2) 面分析 3-(3) 线分析 3-(4) 元素分布 4. EDX的检出界限 5. EDX可进行空间分解 6. 总结 JEOL JED-2200F 1. EDX是什么? 2. 分析原理 3. 分析方法与数据的读取方法 3-(1) 点分析 3-(2) 面分析 3-(3) 线分析 3-(4) 元素分布 4. EDX的检出界限 5. EDX可进行空间分解 6. 总结 目录 1.EDX(EDS)是什么? JEOL JED-2200F EDX Energy Dispersive X-ray Spectrometry (能量分散型X线分光法) 检出由于电子光线的照射产生的特性X线,实行元素 定性,定量。一般多用于SEM,是一种从原子番号5号 的B(硼)到原子番号92号的U(铀)均可实行元素的定 性定量的分析的装置。 JEOL JED-2200F 元素周期表 1.EDX(EDS)是什么? JEOL JED-2200F 定性分析 通过曲线最顶端的位置(X轴),能够得知样 品含有什么样的元素。 定量分析 通过定性分析了解含有的元素之后,观察曲线 强度(Y轴)可得知以全部成分为100%,所含元素的比 例。 元素分布图 可在特定范围内,对其面内何处有何元素进行 分析,形成图像。 JEOL JED-2200F 目录 1. EDX是什么? 2. 分析原理 3. 分析方法与数据的读取方法 3-(1) 点分析 3-(2) 面分析 3-(3) 线分析 3-(4) 元素分布 4. EDX的检出界限 5. EDX可进行空间分解 6. 总结 2.分析原理 JEOL JED-2200F 试料台 样品 装置原理 ①电子光束照射到试料 ②试料表面存在的元素, 产生相应特性的X线 ③EDX检出器检出特性X线 ④表示出相应的光谱 检出器 特性X线 电子光束 2.分析原理 JEOL JED-2200F 原子 在试料表面的原子呈现一个个 的状态时,可观察特性X线的发 生过程。 2.分析原理 JEOL JED-2200F 特性X线的发生原理 原子核 电子光束 特性X线 K壳 L壳 M壳 : 电子 K壳的电子被弹出 ↓ 外侧一圈的L壳的电子朝内移动 ↓ 产生特性X线 Kα 2.分析原理 JEOL JED-2200F SiKα顶端的解说 向Si原子照射电子光束 ↓ K壳的电子被弹出 ↓ 外一圈的L壳上电子朝内移动 ↓ 移动时产生特性X线Si-Kα ↓ 产生的特性X线经由EDX检出器被检出,表示出对应光谱 JEOL JED-2200F 特性X线能量值 JEOL JED-2200F 目录 1. EDX是什么? 2. 分析原理 3. 分析方法与数据的读取方法 3-(1) 点分析 3-(2) 面分析 3-(3) 线分析 3-(4) 元素分布 4. EDX的检出界限 5. EDX可进行空间分解 6. 总结 3.分析方法与数据的读取方法 JEOL JED-2200F 根据想得知的具体情况,可改变相应的分析方法, 或者组合使用多个方法。 Analysis Program Mapping Program JEOL JED-2200F 3-(1) 点分析 对样品某个点进行分析。 得出定性(光谱)、定量分析结果。 3.分析方法与数据的读取方法 JEOL JED-2200F 3-(2) 面分析 对样品的某个范围进行扫描,分析。 得出面内的平均结果。 得出定性(光谱)、定量分析结果。 3.分析方法与数据的读取方法 JEOL JED-2200F 光谱(定性) Y轴表示特性X线的数值。 X轴表示特性X线的能量值。单位为keV 重点 ①特定的元素,所出现的峰值位置也 为固定的。 ②Na后的元素有多个能量值。故会出 现多个峰值。 ③能量值较近,会有多个
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