GAS系统材料认知和施工规范选编.ppt

 GAS系统施工简介和规范;*;;2-1-1大宗气体的种类 ;  ;*;*;*;1-4.依厚度来区分：一般厚度之规格有SCH5S、SCH10S、SCH20S、SCH40S1-5．管材又可分为有缝、无缝两种2． About Fittings2-1.材质同管件。(EP/BA…)2-2.常用种类：1Nut+Gland+Gasket 2Elbow、Tee、Reducer3Cap、Plug 4Connector 接头一般可分为VCR (1/8圈)/SWG (1?圈) /Welding（焊接）/螺牙街头/Flange尺寸从1/8”-1”(VCR/SWG)及1/4”—300A(Welding/Flange)皆有又分短接头SCM(micro) or 长接头SCL(long)SCF2-4.常用厂牌：KITZ/HAM-LET/IHARA/SWAGELOK/FUJIKIN ;*;材料认知;材料认知;材料认知;材料认知;;材料认知;4． 选用材料依据及质量控制基本程序4-1．气体种类、气体特性:影响材料使用的等级：AP/BA/EP/V+V(VIM+VAR)4-2.业主需求及预算注意有无指定厂牌或规格4-3．依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸影响材料使用的尺寸：1/4”、3/8”、1/2”、15A4-4.依机台所需压力及流量不同选择材料形式选用压力范围适合及流量适合之阀件。（1/4”—3/4”） 4-5．视盘面组装选择料件接头形式VCR—F or M; SWG ; Welding（焊接）4-6. 操作温度， 成本; ;5． 二次阀盘组之形式：一般而言有如下之常见形式：1Specialty Gas（无盘组，由VMB/VMP取代）2Bulk GasEP级由Diaphragm Valve（隔膜阀）+Regulator（调压阀）+Gauge（压力表）+Filter（过滤器）组成BA级由Ball Valve（球阀）+Regulator+Gauge组成注意：配管时有关闭二次盘组Parts（部分）之构造须与业主讨论后才能定案。 ;VMP(预留阀盘）;设备接口端;高纯气体管路阀盘组成;普通气体阀盘组成;施工规范1． 管路架设2． 弯管作业规范3． 管路的切割铣面4． 管件接头的安装5． 熔接规范;1-1 预制工作环境作现场需配有一临时性洁净棚(Clean Booth)，且所有配管工作的操作基本上在此区域内完成，以避免一些不当的污染。 1-2 预制工作（在简易洁净室clean booth）1-2-1．假镕1-2-2．冲吹气体（Back seal gas）使用氩气，露点-80°C或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒（0.1um以上）含量为零。1-2-3. 冲吹用管套连接冲吹气体管路与架设管路，使用（Back seal jig） 1-2-4.架设程序将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀 ;1-2-5.装封完成焊接之后，在管内充满Ar气，而且用无尘的塑胶纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑胶纸裹起来。 1-2-6.储存及搬运 材料必须置于特定的储藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑胶封套打开直到现场要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。 1-3 现场焊接 1-3-1．现场焊接的人员必须有受过高洁净度配管技术鉴定通过。 1-3-2．管路维持条件 即使焊接结束，也要维持小量的N2或Ar在管内冲吹以防止空气流入管内。 1-4 管路的固定;2 .弯管作业规范 配管弯曲作业应注意二原则：将较短尺寸配管上做记号，此部分应放在Bender（弯管器）左侧，Set次之。进行弯曲时用Latch（锁存器）固定Pipe，将手把往配管上面滑动，转动90°来完成弯曲。此时配管上面会有以下情形之伤痕。 1Latch管口部位的伤痕 2Bending(弯曲）部分的伤痕 这两个伤痕之间，2的伤痕要特别注意。因此部分在配管之端面，在Swage lok接缝套圈发生时会产生100%Leak（泄露）等困扰。在Latch部分圆圈方向之伤痕不会发生这种困扰。;3. 管路的切割铣面3-1 中大口径配管 1.原则上切割应于洁净亭内执行。但如果顾客的洁净室已完成、可在其洁净室内切割。（但如果切割产生切屑、也有不于洁净室内执行的场合）2．切割前应确