SCU400员工培训选编.ppt

SCU400多晶炉用于将太阳能级硅熔炼和结晶为光伏用硅锭。 该炉子的规格允许使用不同大小的加热器，如有需要坩埚的大小可以改变。 SCU400炉子每一次循环可熔炼和结晶一个硅锭（400Kg硅锭）。 ;;SCU400设计特点;SCU400设计特点;SCU400技术参数;SCU400技术参数;辅助件参数;辅助件参数;真空系统参数;真空系统参数;供电参数;供气参数;供水参数;供水参数;SCU多晶炉的周围条件;SCU400炉子的组成;SCU400炉子的组成;炉体室组成;炉盖组成;顶部加热系统组成;顶部加热系统组成;底部加热器系统组成;底部加热器系统组成;设备安全措施;气体控制;控制中心组成;主控制柜组成;内部冷却水系统;压缩空气系统;散热系统组成;进炉前准备; (3)、冷却水 要求进水温度在 31±0.2℃，进水压强 5.0-6.0Bar。多晶炉各个部位的水流量要求如下： 炉盖≥40L/min；炉膛≥40L/min；冷却板≥90L/min；盲法兰≥10L/min； 水温表 顶部加热器≥15L/min；底部加热器≥15L/min。 冷却水出水压力在 1.0-2bar;(4)、电控柜 ①、确认电控柜是否已合闸，包括电控柜内主闸及门上的开关，并将电控柜门锁上。 ②、确认变压器盖板及加热器套盒已盖好。 (5)、投炉前点检 检查《多晶炉铸锭点检表》各项，作投炉前点检工作。 ;多晶炉室清扫;炉盖上残留真空脂 ：无尘纸吸取无水乙醇擦 炉体密封圈 ：先用无尘纸吸取无水乙醇擦一次，涂上真空脂，用无尘纸吸取无水乙醇再擦一次 ;炉盖顶板的下板及炉膛上沿黄、白色氧化物 ：先用铲刀铲除再用吸尘器吸 支撑板上氧化物 ：吸尘器吸 ;炉膛底部侧板及其与支撑板的间隙处 ：吸尘器吸 ;备注： 清理过程应戴手套、口罩，进入炉膛须穿鞋套。 炉盖表面须在每天早上打扫卫生时用毛巾擦拭干净。 如发现异常情况，出炉后应立即清理或维修。 如成品率经以上清理后仍较差，须吊起炉膛对炉体内壁氧化物及热门周围碳毡板进行清理。 清理完须由班长或工艺师确认，并运行烘烤菜单。运行烘烤菜单时须将 Charge No 按相应规定修改。 注意不要将任何物品遗漏到炉体内 ;多晶炉操作;1、 作业准备 (1)、进入多晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。(2)、准备好梯形碳纤维板。 ;(3)、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、无尘纸、酒精、吸尘管、防尘口罩等。(4)、准备好吊钩碳纤维板和吊装硅锭的专用工具（硅锭四爪夹具）。;投料过程;自动控制生产过程 ;(1)、抽空检漏 要求炉子漏气速率1mbarl/s，检漏时间 3 分钟。检漏合格循环充氩气一次,并对加热器检测五分钟，进入加热熔料工序。 若炉子漏气速率1mbarl/s，则可选择再次进行抽空检漏，若仍不合格则打开真空室泄气阀，使真空室达到常压，检查顶底高温计、热电偶安装接口，如无问题，打开炉盖重新清洁炉盖与炉体接触的两个面，合上炉盖重新检漏。检漏合格进入加热熔料工序。如再次不合格报告维修人员处理，并进行相应记录。;(2)、熔料过程中功率在上升，但在熔料后期，顶部加热器的功率出现明显下降，一般出现在菜单的第九部，此时根据曲线更改参数，更改的依据是出现顶部加热器功率下降开始到开始结晶的时间控制在 70 分钟（第九步延长 35 分钟）。在功率出现下降后，需查看顶部高温计是否对准，对准的标准是高温计镜头里的黑圈与视野中的黑斑重合。 ;(3)、结晶过程中的第九部也需要进行参数修正，在顶部高温计温度在结晶阶段是稳定的，但在后期会出现温度陡然下降??此时需要查看高温计，如果视野中黑斑已经偏向一边或者不在视野中，则表明硅锭已经冒顶，参数的修改依据是顶部高温计曲线出现下降后将第九部再维持 120 分钟。 ;(4)、正常条件下第九步的时间设定是 300 分钟，如果在这 300 分钟内观察不到冒顶，则需要将第九步的时间增加 60 分钟，并将顶底加热器的功率分别调低 2KW。如果在 510 分钟内仍然观察不到冒顶，则再增加 60 分钟，并将顶底功率分别调低 2Kw。依次类推，到冒顶出现后，按照第（3）步的步骤执行。 (5)、退火、冷却过程是由电脑控制进行。;(6)、热态检漏、停炉是由电脑控制进行，检漏过程结束后即表示整个生产周期结束。当生产过程结束时，炉子会报警提示，此时只需点菜单泄压，泄压开始。 (7)、如果顶部热电偶失效，则必须待底部温度下降到 240℃以下方可泄压。