silvaco选编.ppt

Silvaco-TCAD;Silvaco产品分布图 ;VWF交互工具;文件类型：;各模块之间的关系;DecBuild;Set——设置全局变量或者设置Tonyplot的显示方式 syntax：set variable=value（value可以是数值，也可以是表达式） eg1：set temp=1000 \设置温度宏变量temp的值为1000 set gaspress=1 \设置气压宏变量gaspress的值为1 diffuse time=30 temp=$temp press=$gaspress \在扩散工艺中调用宏变量 \ temp和gaspress eg2：extract name=“oxide thickness” thickness oxide \提取氧化层厚度，并将其 \命名为oxide thickness set etch_ thickness=(“oxide thickness”?10000)+0.05 \以氧化层厚度为变 \量， 来计算刻蚀深度 etch oxide dry thickness=$etch thickness \??法刻蚀氧化层，刻蚀厚度为 \表达式计算所得 eg3：tonyplot structure.str -set show.set \-set表示tonyplot将使用set设置， \show.set表示设置后的结构文件;Extract——提取仿真中得到的信息 syntax：extract extract-parameters \提取用户想提取的参数 Extract-parameters包括：工艺的单一值（net doping、c.boron…）、器件的电参数（VT…）、曲线（浓度随深度的分布、栅压随漏电流的变化…）;器件仿真器ATLAS;结构定义;区域定义：region Syntax： region number=n material position region number=1 material=silicon x.min=0 x.max=100 y.min=0 y.max=10 \ z.min=0 z.max=10 n：介于1~200之间，建议按从小到大的顺序定义。 material：各种材料的命名见说明书的Appendix B：“material system”， 所有材料被分为3种：导体、半导体和绝缘体。该参数并不是只代表材料名 称，它也有其它代表意义，详情请查看说明书。 position：除了例句中的定义方式还有其它方式，比如对于圆柱形网格的 区域定义等。;电极定义：electrode eg：electrode name=anode top left length=5 electrode name=anode x.min=0 x.max=5 y.min=0 y.max=0.1 name：只有以下列出的电极名称才可用作定义电压或电流边界条件 DRAIN SOURCE BULK SUBSTRATE EMITTER COLLECTOR BASE ANODE CATHODE WELL NWELL PWELL CHANNEL GROUND NSOURCE PSOURCE NDRAIN PDRAIN VDD VSS VEE VBB VCC 以下电极除能用来定义电压电流边界条件外还可定义