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GAS SYSTEM施工规范(洁净管路)
GAS SYSTEM施工规范;一.管路的连接---较常见的有以下五种:;;2. VCR --- 主要用于VMP/B`机台及阀件的连接安装手续照下列步骤 1检查配件是否损伤。 2GASKET及GASKET RETAINER装上本体GLAND,但须小心不伤及本体。一旦有伤痕全体的密封度会受影响。;3.NPT接头安装;4.Flange 接头安装 1.Flange接头用于大型阀件连接处;施工前检查Flange是否有瑕疵,并确定清 洁材料表面。 2.将Flange以氩焊焊接与连接处,将管子插入距Flange正面2-3mm深度处点焊 之;用手焊机将Flange正面延圆周焊接一圈,用同样方法再焊接Flange的背面;如果先焊Flange背面,极可能会污染Flange正面而导致漏缝,因此务必先焊Flange正面部分。 3.焊接时需注意与工材连接成垂直状,焊道不得有孔,焊渣及龟裂细纹产生,外部不允许因过火导致色异。 4.组合各阀件时,于阀件间置???一垫片(铁弗龙)再用手将螺丝固定、螺栓固定方式以对角法依序装置。 5.调整组合阀件之水平,使成一直线;再以开口扳手依对角方式螺紧各螺栓。 ;二. 管路的架设; 1Specialty Gas(无盘组,由VMB/VMP取代) 2Bulk Gas EP级由Diaphragm Valve+Regulator+Gauge+Filter组成(有时加装止回阀,以避免气体回 流污染气源) BA级由Ball Valve+Regulator+Gauge组成注意:配管时有关闭二次盘组Parts之构造须与业主讨论后才能定案。; 焊接工作区域: Class 100 用于焊接、预制管件。;1. 预制工作(在简易洁净室clean booth);1-2.架设程序 将工作管路两端套上管套,连接冲吹气体及阀;1-3.储存及搬运;5.以U形束固定配管时、须考虑配管热胀冷缩和地震等异常状态的发生、不可束太紧、 6.配管可能受振动的场合、须与支持物及配管之间加入振动缓冲材料。7.固定配管时、必须考虑未来需要、保留空间。8.室外配管及地下埋设配管须采用防腐蚀对策。(特别是埋设配管时须与专家详细商量)9.一般配管固定如下图设置:; 11.支持物的制造须根据半导体规则、避免表面伤痕。 12.配管支持用材料也必须实施禁油处理 13.建筑物有伸缩缝时,管路需装膨胀节,并于膨胀节前后以固定支撑加固。 2.双层管---主要用于高危险气体(剧毒`自燃) 收尾环---连接内管和外管 压力侦测器---安装于VMB上端易于识别的位置(-14psi);3.保温施作有些气体常态下为粘稠液态气体,室温的饱和蒸汽压均小于10Psi,易造成管线阻塞,需包加热套,提高气体蒸汽压,才能充分供应气体。如:DCS、CLF3、WF6注意:确定感温棒接触加热带及管壁 ;三. 弯管作业规范;hook up 弯管主要采用5倍弯管器(主系统采用较大倍数的弯管器,如 7倍`10 倍,以改善流通性) 1.比较图面上两端,由短方面先开始弯曲。;四. 管路的切割铣面;2. 小口径配管(1/4”—1/2”); 1.保证Cutter与管材垂直,以免损伤刀片。 2.一次进刀不可过深,否则会使切口变成椭圆,并有损Cutter,把手每次旋转角度30°即 可。开始切割时,必须前后旋转3-4次半周,以保证端口在同一水平面。 3.切割完毕,检查切口时,要使管材倾斜,由下往上看,以防止切屑进入孔内附着。 4.检视切断部外径不得产生螺旋划痕。 5.切管完毕后,切断部会形成锥状,并有毛边产生,使用端面机修整切断部,致形成一平面以利焊接: 1端面机不可一次进刀太多或转速太快,以免因过热而使端口氧化 2保证管材与端口成垂直状态。 3倒角修除毛边,倒角器要垂直于端口,使管材倾斜向下,防止铁屑进入管内。注意:管路修改时,应尽量避免垂直切割,切割时必须用大流量Ar冲吹。;;;;五. 熔接规范(自动焊); 4.调整数据及前后吹气时间 前后吹气时间不可低于10秒。;8.注意事项:; bBA (Bright-annealed)级:光辉烧纯管(热处理) cEP (Electrolytic polished)级:电解抛光 dVIM+VAR(降低管内杂质及增加抗腐蚀性);外焊道的宽度(C)须小于3倍的管厚(T);内焊道的宽度(C1)需大于1.5倍的管厚小于2倍壁厚(T);3. 焊道厚度的要求:; O.D.界于1/4”~80A时,上凸容许值(Y)须小于10%管厚(T);O.D.大于 80A时,上凸容许值(Y)须小于15%管厚(T)。;O.D.大于50A时,方可允
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