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美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪
美国 NANOVEA 公司的三维非接触式表面形貌仪
一、 产品简介
美国 NANOVEA 公司是一家全球公认的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测
量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和
工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最前端的白光轴向色差原理
（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、
高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数
的测量。
二、产品分类
该公司的三维非接触式表面形貌仪主要有 4 款：JR25、PS50、ST400 与
HS1000（区别见技术参数）：
JR25 便携式三维表面轮廓仪：
野外操作或不可拆卸部件的理想选择
·便携式表面形貌仪
·结构紧凑，性价比高
·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪
·应用范围广
·测量范围：25mm×25mm
PS50 表面轮廓仪：
科研单位与资金不足企业的最佳选择
·性价比高
·结构紧凑
·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪
·应用范围广
·测量范围：50mm×50mm
ST400 表面轮廓仪：
·应用范围广
·适合大样品的测试
·测量范围：150mm×150mm
·360O 旋转工作台
·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）
HS1000 表面轮廓仪：
·适用于高速超快自动测量场合
·超高的扫描速度（可达 1m/s，数据采集频率可达
31KHz，最高可达 324KHz）
·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）
三、测量原理简介：
Nanovea 公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光
轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。
? 利用白光点光源，光线经过透镜后产生色差，不同波长的光分开后入射
到被测样品上。
? 位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测样品漫
反射后的光。
? 根据准共聚焦原理，探测器系统只能接收到被测物体上单点反射回来的
特定波长的光，从而得到这个点距离透镜的垂直距离。
? 这个点为点光源与传感器所在的直线的中垂线与样品的交点。
? 再通过点扫描的方式以 S 路径获得物体的三维表面形貌特征。
? 最后将采集的数据交给专业的三维处理软件进行各种表面参数的分析。
? 软件能够自动获取用户关心的表面形貌参数。
四、 产品技术优势
1．采用国际最前端的白光轴向色像差
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