硅片插片机使用的说明.pptx

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硅片插片机使用的说明

清洗培训 ——插片机;主要内容:; 机台 插片机结构 篮具; 插片机操作;;2、装片;1、打开硅片盒,粗检硅片边缘是否有崩点、崩边 等不合 格品; 2、测量硅片尺寸; 3、以100片为单位,将硅片放入篮具中,每篮具放片以400片为限 。 ;3、加料;1、一手拿着篮具挡板。一手拖住篮具底板,整个篮具向身体的方向倾斜,避免由于篮具突然损坏造成摔片。 2、准备加料:将篮具底板一边先放在插片机台面上,向里推,平放 3、双手同时提起篮具上料挡板,放入上料位,使得篮具下小孔与上料位定位销重合,左右晃动,检查篮具是否放稳。 ;4、装载小花篮;;5、插片; 待两个花篮均已装满时,即绿灯亮,黄灯亮,蜂鸣器响。操作者可将花篮拿下来放在小车上,检查是否有双片、破片、隐裂片,是否有硅片插斜等异常现象,若无,即可准备上花篮夹。;5、关机;自动插片时的紧急情况处理;1、硅片堵塞 ;2、掉片报警 出现此报警经常由于硅片厚薄或是应力而导致硅片分离较差,吸盘无法吸住硅片 处理方法: 1、判断来料硅片是厚薄还是应力,若是厚薄,可点击“加料”,将篮具取出,旋转180°,放入点击“续装”即可。若是应力,拿出手动插片。 2、若硅片既不是厚薄也不是应力,即通知机修或技术员。;3、上料位有阻挡物报警 若出现此报警,是由于吹气分片太高,阻挡感应器接收到信号所致。 处理方法:点击“加料”,将篮具取出,旋转180°翻放入继续装片。 若无改善及时通知机修或技术员。;注意事项:

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