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直流辉光放电等离子体参数的测量和分析
直流辉光放电等离子体参数
的测量及分析;主 要 内 容;直流辉光放电就是将一个玻璃管密封,将气压抽至几十帕,在管子的两端加上高电压,玻璃管内气体被击穿,同时可以发现玻璃管内起辉,在不同的放电区,光强、电子温度不同。利用直流辉光放电现象原理制成的器件应用十分广泛,例如等离子显示器、等离子镀膜。直流辉光放电是等离子体的一个重要研究领域,为进一步提高它在各个领域的应用,科研工作人员在理论和实验两方面一直进行着不断的研究和工作。
;2 直流辉光放电等离子体的产生;3等离子体的诊断;3.1实验装置;3.2数据处理和分析;;;;3.3数据处理和分析;;;3.2数据处理和分析;4结论
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