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新型工艺流程
制备单晶硅太阳能电池的 工艺流程（复习）;硅太阳能电池的标准工艺流程;氧化
;工艺流程;2、RCA法清洗;3、一次氧化（掩蔽层，氧化层厚300-400nm）;4、刻出背面;5、背表面场制备;6、刻出光照区窗口;7、光照区磷扩散;8、刻出栅电极窗口;9、栅电极区域浓磷扩散;10、光刻刻出电极窗口;11、正反面分别蒸镀金属膜;12、反刻制作金属电极;
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