光栅在驱动控制系统运动位移测量中的应用.pdf

3 3 学 1 , 1 第 卷 第 期 光 仪 器 0 2 ? 4 , ! 年 ? 月 # ?% ? ( ) ? +% , ? . / ? % + (? 52 ! 一 文章编号 6 7 8 一 8 9 : ; ! 一 8 ‘ 光栅在驱动控制系统运动位移测量中的应用 李 海华 , 杨 练根 , 王 选择 , ;湖北工业大学 湖北 省现代制造 质量工程重点实验室 湖北 武汉 ? : 9= , 摘要 6 利 用计 量 光栅 的栅 距作 为 基准刻 线 , 对 二 维精 密工作 台的运 动位 移 进行 测 量 。 Χ , 提 出 了一 种 新 的位 移测 量方 法 通 过 ? ;? ?Α 4Β ?1 叩2ΧΔ ΔΧ Ε5 ?Χ 获取光栅 刻 线 图像 对 图 像进行 分析 处理 , 计 算 出栅距 与 图 像像 素之 间 的 映射 系数 , 再通 过对 工作 台移 动 前后 光栅 图像 的 对 比 , 采 用基 于 李 萨如 图 的 相 位 差 比 率算 法 获取 它们 的像 素位置 差 , 从 而 计算 出 工 作 台的实际 运行位移 量 。 关键词 6 光栅 Φ 驱 动控 制 Φ 位 移测 量 Φ 李 萨如 图 Φ 图像 处理 中图分类号 6 % ? 文献标识码 6 ( % ?Χ Α ??2Γ5 Η Β 1 Ι Β 4Α ?5 ΗΒ 5Η ΚΧ ΑΛ Μ 4 5Η Β Κ1 Ε Χ ΚΧ Η ? Δ 5Λ ?2Α ? Χ ΚΧ Η? 1 Ι Δ 45 Ε 5Η Β Χ 1 Η ?41 2 ΛΓΛ?Χ Κ 一 , 一 一 ) Ν 晚5 ? Μ Α Ο月入斑子众ΑΗ ΒΧ Η , 环叭 八及子Π 晚ΑΗ ΘΧ Χ Χ 1 Α 4 Χ4 Α Χ 4 Χ Μ Α Χ Χ 4 , ;ΝΜ Ρ 5 Σ Γ )Α Ρ 4 ?1 Γ 1 Ι . 1Δ Η . Η Μ ΙΑ ?Μ Τ 25?Γ /Η Β5 Η 5飞 , ,