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硅尖的制备及在传感器技术中的应用3
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传感器技术85 (Journal of Transducer Technology) 2003 年 第 22 卷 第 6 期
前沿技术
硅尖的制备及在传感器技术中的应用
王艳华 , 王明亮 , 孙道恒 , 马海阳
(厦门大学 机电系 ,福建 厦门 361005)
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摘 要 : 介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用 。硅尖的制备方法可与现代 IC 工艺兼容且易削
尖 ,故比其它材料微尖更实用 。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。
关键词 : 硅尖 ; 刻蚀 ; 微加工技术 ; 传感器
中图分类号 : TP212. 12 文献标识码 : A 文章编号 : 1000 - 9787(2003) 06 - 0058 - 04
Fabrication and application of silicon tip in sensor technology
WANG Yan hua , WANG Ming liang , SUN Dao heng , MA Hai yang
( Dept of Mach Elct Engin , Xiamen University , Xiamen 361005 , China)
Abstruct : Fabrication of silicon tip is described. Then the application of silicon tip in sensor technology is summarized.
The method of fabrication of silicon tip is compatible with modern IC processing ,in addition to the silicon tip can be easy
to sharp ,it is practical than other materials. It is believed that the application of silicon tip would be developed with the
improvement of fabrication technology and other correlation technology.
Key words: silicon tip ; etch ; micromachined technology ; sensor
0 引 言 1 硅尖的几种主要制备方法
微尖是指在平面上刻蚀或淀积加工形成锥、柱 1. 1 各向异性湿法刻蚀
状的微三维结构。其材料可使用金属、半导体、金刚 各向异性法湿制备硅尖 ,是将 100 晶向的硅
石等。根据材料的不同其制作方法也各异。最早的 片在掩模的保护下 , 用各向异性腐蚀液如
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