确定性抛光非球面光学元件残余误差的评价方法.pdf

第 ??卷第 ?期? 机 械 工 程 学 报? ???．??? ? ?．?? ???? 年 ? 月? ???????????? ??????????????? ??????? ? ??? ????? ???： ??．????／?? ?．????．??．???? 确定性抛光非球面光学元件残余误差的评价方法水? 王春锦? 王振忠? 潘? 日? 谢银辉? 郭隐彪? ?厦 门大 学机 电工 程系 厦 门 ???????? 摘要 ：研 究非球面光学元件 确定性抛光 中表面残余误差 的评 价方法。对两种非球面残余误差 的评价方法 ，分别 为轴 向误差法? 和法 向误差法 ，进行理论研 究。指出非球面的残余误差理论上应 使用 法向误差法来评价 ，并提 出一种基于轴 向残余误差求解? 法 向残余误差 的方法 ，继而对二 者进 行 比较发现两者存在一 定的偏差 ，并且差值从非球面的 中心 向边缘方 向逐渐增大 。以气? 囊抛 光和 数控小磨头抛光为例 ，通过试验表 明使用轴 向误差法评价残 余误差，进 行确定性抛光 引入 了不 同程度 的加工误差 ，? 引入 的加 工误差的大小 与非球 面光学元件的 口径和顶 点曲率半径 的比值?即 “相对 孔径 ”?成正相关 ，故对于相对孔径较小 的? 非球 面光 学元件在确定性抛光 中可使用轴 向误差法替代法 向误差法 作为残 余误差的评价方法 ，反之 ，则应使用法 向误差法 。? 关键 词： 确定性抛光 ；非球面光学元件 ；残余误 差；评价方法? 中图分类号：?????? ? ???????????????? ?????????????????????????? ???????????????? ????????