CrystalSix 六 探 头.pdf

CrystalSix? 六 探 头 INFICON CrystalSix 六探头是长过程中连续速率控制的关键设备. 无论是 OLED, MBE, 太阳能, 长过程光学镀膜, 或在两次放空之间有一个长的时间周期的其它过程, CrystalSix 六探头提供 6 片石英监测晶体在一个六探头探头内的可靠性. 当使用 INFICON 薄膜控制 器, 一旦晶体损坏或变得不稳定时, CrystalSix 自动将新的晶体旋转到位. 晶体被自动更换, 不影响过程的连续沉积速率监测. 由气动机构自动完成晶体的标引. 与采用昂贵的, 在真空中发热的电动马达的竞争性 仪器相比, 这个气动的驱动马达提供更好的晶体热稳定性. 1 /8 冷却水管可保持六探头 的热稳定性和六探头布局的灵活性. 与 INFICON 薄膜控制器一起使用时, 六探头提供位置反馈, 从而可使用特定材料于特定 的位置. 优 点 ■ 六探头内 6 片晶体有坚固耐用, 过程运行时间自动转换最大化的功能 ■ 稳定的晶体温度是由于晶体的气动转换 (竞争性仪器使用发热的马达) ■ 1 /8 冷却水管可保持热稳定性和六探头布局的灵活性 ■ 供应可选的光学晶体挡板 订购资料 CrystalSix 六探头 注 1: 六探头需用 气动控制阀 CrystalSix 750-420-G1 . 六探头 CrystalSix ....................................................750-446-G1 注 2: CrystalSix 六探头带挡板 ...........................................SPS-1039-G1 CrystalSix 六探头不能用于XTM/2, TM400, TM350, 或 SQM160 石英晶体监测器. 六探头 基片 真空内电缆 源