Front CVD年度保养停机复机标准操作流程.docx

Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0Page No.页码:  PAGE 11 / 6  The information contained herein is the exclusive property of GDSolar, and shall not be distributed, reproduced, or disclosed in whole or in part without prior written permission of GDSolar. 国电光伏（江苏）有限公司 高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书 （试行）编 号： 版 本：0  2012-XX-XX发布 2012-XX-XX实施 国电光伏（江苏）有限公司 发布 Document Level文件等级: (For Engineering Quality Document/工程及品质文件专用) ? Level 1–Manual 手册 ? Level 2–Procedure/SPEC/Report 程序/规格/报告 ? Level 3–SOP/SIP标准作业/检验规范Security Level机密等级: ? Security 1 - GDsolar Confidential ? Security 2 - GDsolar Restricted ? Security 3 - GDsolar InternalDocument Change History文件更改历史记录Rev. 版本Effective Date 生效日期Author 作者Approval 审核Change Description 变更说明0韩超  名称：高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） 目的：定义Front PECVD机台停机/复机标准作业程序，以提高设备之利用率，增加机台的稳定性。 范围：本停机/复机标准作业程序适用于Front PECVD机台之停机/复机。 名词定义：CB—Circuit Break 断路器 CDA—Clean Dry Air 压缩空气 CW—Clock Wise 顺时针 CCW—Counter Clock Wise 逆时针 LC—Load Lock Chamber装载腔 MFC—Mass Flow Controller 质量流量控制器 PCW—Process Cooling Water 工艺冷却水 ULC—Unload Lock Chamber 卸载腔 参考文件/资料：《Solar Cell User’s Manual(J-Cell)》 相关单位职责： 6.1设备部：本SOP由高效电池Front PECVD组工程师制定修改，并由设备部人员执行设备停机/复机动作。 6.2生产部：负责停机/复机相关原辅材料的领取及停机/复机后废弃材料的处理。 6.3 工艺部： 负责机台停机/复机后工艺参数的检测。 内容： 7.1 复机程序： 7.1.1 Facility检查 对设备使用到的水、电、气、排风等facility进行检查，确保各项指标（请参照《Front PECVD Start up Checklist》执行）都在设备要求范围以内。如PCW、DIW等停供过的话，必须对管路进行24小时以上的冲洗并抽样检测水质，在水质检测通过后方可使用。 7.1.2 机台端Facility检查 1.打开PCW回水及进水阀门，再确认管路有没有漏水。 2.打开CDA阀门，调节压力至规定数值（7~8kg/cm2）。 7.1.3 机台Power On 1.打开Power之前，确认所有Power Switch 及circuit breaker处于OFF状态，如有任何开关处于ON,必须关闭使之处于OFF状态。 2.确认FAB Power supply circuit breakers 处于开启状态，再次确认Main Power box是否已经接好Power，并用电压表测量电压（三相380V及三相208V） 3.打开“M1.MCCB01”为UPS供电. 4.打开“M1.CB5,6,7”组成EMO电路，M1.L1亮起，这意味着EMO电路控制电