SOI波导弯曲损耗影响因素的分析.pdf

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2017-04-23 发布于湖北
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SOI波导弯曲损耗影响因素的分析

第卷增刊半导体学报 *’ ! ! ! ! aD2*’!%GGD9196C 年月 *++. ’ #8Q!%!M_e]Q$?_^%!=#_QNe#[_]% M69$*++. 波导弯曲损耗影响因素的分析 6/1 # 陈媛媛余金中严清峰陈少武 ! ! ! 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京 # $ !,+++-0% 摘要采用有效折射率方法和二维束传播算法对 ’ !=#9@@9EC;P9;6I9K19C4I% #*NJ\=% %_#H;D;E6J6J;6HD5CF% 波导弯曲损耗的几种影响因素进行了分析通过模拟发现弯曲损耗随弯曲半径的增大波导宽度的增加及内外脊 2 ’ 高比的减小而减小同时改进波导结构例如在弯曲波导外侧刻槽可以减小脊形波导的弯曲损耗 2 $ $ %_ 2 关键词弯曲波导弯曲损耗集成光学 ’%_( ( ( ’’%)(,0+((,(+ 中图分类号文献标识码文章编号 ’[Q*.*!!! ’$!!! ’+*.0J(,))$*++.%+J+*,’J+( 关同时还与波导的宽度及脊形波导的刻蚀深度有引言 $ !! 关对弯曲波导的精确分析需要用三维束传播算法 2 近年来材料由于导然而计算复杂且耗时长有效 %_#H;D;E6J6J;6HD5CF% #0NJ\=%$ 0NJ\= 2 波性能良好在导波光学器件和光电子器件方面的折射率法是一种简单 $