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维普资讯 一 上海美维科技有限公司 杨宏强 王洪 骆 玉祥? 多阶盲孔板制作中的关键技术研究? 摘? 要 ?本文以四阶盲孔板制作过程为例 ，探讨了逐次层压法制作多阶盲孔板的一些关键技术 ，包含盲孔? 的激 光加 工????材料 最小 孔径 为 ??????，普 通 ??材 料最 小孔 径 为???????，高厚径 比盲 孔 的电镀 ?最大 厚径 比为? ????：??，多阶盲孔的对位??阶盲孔?技术 ；这些关键技术的解决将为实现多阶盲孔板的量产打下坚实的基础。? 关键词 ?多阶盲孔，激光钻孔 ，高厚径比盲孔电镀，层间对位? 一 、 刖 昌? ?．?多阶盲孔的制作工艺? 随着 电子产 品功 能要 求越来 越 多、性 能要 求越来? 越 强 ，相 应 的印制板 布线 密度和 孔 密度越 来越 高 ，制? 作越 来越 难 。为 了适应 这一趋 势 ，印制板 制造 商不 断? 买进 新 设 备 、引 进 新 工 艺 以 满足 电子 产 品 的发 展 需? 求。研 究表 明提 高印制板 布线 密度最 有效 的方法之 一? 是减 少通孔数 增加 盲孔 数。 因此 ，盲孔 制造 技术成 为? 印制板发展 的关键技 术。? ?．?盲孔技术 的发展状况? ????年 日本 ???的?????厂 的 ???部 门推 出???? 技 术 ?????????????????????????，表 层 电路 技 术 ，现 该? 部 门 已被????????????????收购?以后 ，盲孔 技术迅 速? 成 为业 界 的关注 点 。后来 ， 日本 松 下开 发 了?????工? 艺????????????????????????，任 意层 内互连孔技 术?，? 常见 的相邻层 间 的盲孔 连接 方式 如上 图所示 。 图? 东 芝 开 发 了 ????工 艺 ??????????????????????????? ???的情形 制作 比较 方便 ，采用普 通 的逐次 层压 法 即可? ?????????， 预 埋 凸 块 互 连 技 术 ????????开 发 了? 完成 ：而对 图???的情形 ，钻 孔和 电镀 比较 困难 。对 于? ?????艺 ?????????????????????????????，任 意叠 孔? 此 类 叠 孔 情 形 ，可采 用 图???、 ???完 成 。 图???的 树 脂? 互 连 技 术 ?， ???????????开 发 了 ????? 艺 ????—? ／导 电胶塞 孔 法是先 电镀 ，之后 塞孔 、磨刷 ，再进行 孔? ??????????????????????????????，新 型 立柱 凸块 互? 面 电镀 ：但对 于孔 径较 小 的盲 孔 ，由于 盲孔 的一端 是? 连技 术?。 目前 大 多数 ???厂家采 用的是传 统 的逐 次层? 封 闭的 ，树脂／导 电胶 塞孔 法难 以保 证塞 ?????气泡 排 除? 压 法 制作 多阶盲 孔 ，即在 制作一 阶盲 孔后再 次层 压制? 干净 ，再加 上不 同物质 与铜 面 附着 力以及膨 胀 系数 不? 作 二阶盲孔 ，