04薄膜电子学的应用.ppt

薄膜电子学的应用;纲要;纲要;透明导电薄膜 (TCO) 之原理及其应用发展;1. ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的导电原理 3. TCO的光学性质 4. TCO 薄膜之市场应用及发展;1. ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的导电原理 3. TCO的光学性质 4. TCO 薄膜之市场应用及未来发展;什么是透明导电薄膜 ?;纯金属薄膜 ?? Au、Ag、Pt、Cu、Al、Cr、Pd、Rh，在 10nm厚度的薄膜， 均有某种程度的可见光透光度 早期使用之透明电极 缺点：光的吸收度大、硬度低、稳定性差;透明导电薄膜;History of TCO;透明导电薄膜主角-- ITO;ITO是什么？;Why choose ITO ?;ITO之组成及特性;ITO 组成在In2O3/SnO2 = 90/10时 最快的蚀刻速率;铟(In)矿的主要应用;各种TCO材料-- ZnO系透明导电膜;1. ITO及各???透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的导电原理 3. TCO的光学性质 4. TCO 薄膜之市场应用及未来发展;TCO薄膜的导电原理 　 (n-type TCO)-- ITO;材料之导电率σ σ = neμ 其中n = 载子浓度 (就TCO材料包括电子及空洞) e：载子的电量 μ：载子的mobility;TCO薄膜的导电原理;TCO薄膜的导电原理;TCO薄膜的导电;鱼与熊掌不可兼得;1. ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的导电原理 3. TCO的光学性质 4. TCO 薄膜之市场应用及未来发展;TCO的光学性质;为降低In2O3、SnO2、ZnO等透明导体的电阻率， 　通常加入Sn、Al、Sb等掺杂物以提高载子密度。 载子密度增加会影响透明性 电浆频率ωp = (4πne2/m*)1/2;AZO (antimony doped tindioxide);电阻率= 面阻值 × 膜厚 　　(ρ = γ × D);1. 高穿透度、吸收小 2. 低电阻率﹙以较低之薄膜厚度得到较佳之导电性﹚ 3. 膜厚均匀性 4. 良好的附着力 5. 蚀刻制程容易 6. 耐候性佳，受环境影响小 7. 无Pin hole 8. 无Hill lock;1. ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的导电原理 3. TCO的光学性质 4. TCO 薄膜之市场应用及未来发展;TCO 薄膜之市场应用–ITO 之应用;Display Application PM LCD;Display Application AM LCD;Display Application OLED;Display Application AMOLED;Display Application PDP;Touch Panel;Solar cell;Electrochromic Window (电致变色玻璃);常用TCO之应用;ITO及TCO 薄膜未来需求之课题;纲要;薄膜太阳能电池介绍;薄膜太阳能电池分类;薄膜太阳能电池优势;薄膜在a-Si thin film solar cells 的应用;a-Si薄膜太阳能电池结构;a-Si薄膜太阳能电池结构;薄膜应用;薄膜应用;薄膜应用;薄膜应用;a-Si薄膜太阳能电池小结;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;纲要;注：SSBW, Surface Skimming Bulk Wave STW, Surface Transverse Wave;注： SAFM, Scanning Acoustic Force Microscopy;注： named after the British scientists who discovered it, Lord Rayleigh. ;注：IgG是免疫球蛋白G(Immunoglobulin G，IgG)的缩