压电倾斜镜的高压驱动及高速控制.pdf

第 ??卷 第 ??期? 光 学 精 密 工 程? ???．??? ??．??? ????年 ??月? ????????????????????????????????? ? ??．????? 文 章 编 号 ????—????????????—????—??? 压 电倾 斜 镜 的 高压 驱 动 及 高速 控 制? 凡木文? 。，黄林海? ，李?梅? ，饶?长辉? ??．中国科学院 自适应光学重点实验室，四川?成都 ??????；? ?．中国科学院 光电技术研究所，四川 成都 ??????；?．中国?科学院大学，北京 ???????? 摘 要 ：由于压 电倾斜镜 的机械谐振会降低 自适应光学伺服控 制系统 的校正 带宽 ，本文研 究 了补偿 压 电倾 斜镜谐 振特性? 的方法 。根 据压电倾 斜镜机械谐振频率特性 的动 态模 型和实测数据 ，提 出了利用压 电倾斜镜高 压驱动器 中现有 的可编? 程 逻 辑 门 阵 列 ??????设 计 多 阶双 二 次 型 数 字 滤 波 器 来 优 化 系 统 的 动 态 频 率 响 应 特 性 。基 于 多 阶 双 二 次 型 数 字 滤 波? 器 ，高压驱动器 能实 时补偿 驱动对象的频率特性 ，完成 压电倾斜镜的正谐振和反谐振 的同时补偿 。将其与压 电倾斜镜作? 为一体 ，可实现平坦 的幅频特性 ，从 而避 免机 械谐 振 ，提高伺服控制带 宽。实验 结果 表明 ：相对于传统 的高带 宽高压驱 动? 器 ，提 出的具有频率 特性 补偿 功能的高带宽高压驱动器可在 同样超调 量下 使系统误差带宽从 ?????提 高到 了 ?????，并? 且 低频 抑 制 能 力 也 得 到 提 高 。实 验 显 示 提 出 的具 有 频 率 特 性 补 偿 功 能 的 高 带 宽 高 压 驱 动器 更 适 合 压 电倾 斜 镜 的 高 速 动? 态 应 用 。? 关? 键? 词 ：自适 应 光 学 ；压 电倾 斜 镜 ；高压 驱 动 器 ；高 速 控 制 ；机 械 谐 振 ；特 性 补 偿? 中 图 分 类 号 ：?????；?????? 文 献 标 识 码 ：?? ???：??．????／???．????????．????? ? ????。??????????????????????????????????????????????????????????? ?????? ????? ?～????’。? ，? ????????—???? ，???? ???