真空获得设备原理与技术基础资料.pptx

3. 油封机械泵;3.1.1 概述;3.1.2 旋片泵的工作原理与结构特点; 若转子按图中箭头方向旋转时，A空间容积增加，压力降低，气体经泵入口被吸入，此时处于吸气过程；B空间的容积减小，压力增加，处于压缩过程；C空间的容积进一步缩小，压力进一步增加，当压力超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程，从而达到连续抽气的目的。 ;3.1.2.2 结构特点;图3-4a 油封式2X型旋片泵结构简图;图3-4b 油浸式2X型旋片泵结构简图;1. 泵体（定子）：主要有3种：; ①整体式 ：结构紧凑，连接及密封加工面少，密封性能好。加工工艺较难。 关键：保证两腔同心度和泵腔内表面的精度及粗糙度（光洁度）。 ②中壁压入式：高低腔为一整体，中隔板由压力机压入，泵腔加工工艺性好。结构紧凑。中壁压入公差较严，采用过盈配合定位，泵腔与中隔板邻近处易产生变形。 一般采用小过盈量，加一定位销，或小过盈微量浮动减少因大过盈量引起的变形；或在泵腔相应处设计加强筋减少变形（大泵） 。 ; ③组合式：各零件易于加工，容易保证高精度，废品率低，互换性好，适于大批量生产，但其加工面多，装配麻烦。 泵体材料： 大多数厂家均采用高强度灰铸铁，如H－200，250等。 也可采用铝合金或球墨铸铁等耐磨、自润滑好的材料。 泵体毛坯铸件应进行时效处理，以消除内应力，防止变形，提高耐磨性。;2. 转子; ②压套式：如图3-6(a)所示，两半转子中间用衬块保证旋片槽宽，该结构加工量稍小些，但要求加工精度较高，装配较复杂； ③转子盘式：是当前采用最多的形式，其结构如图3-6(b)所示，两半转子盘用螺钉和锥销紧固后，两转子体之间形成旋片槽，这种结构零件多，加工装配量大，有较高的加工精度。;图3-6 转子结构;3. 旋片;②旋片材料;4. 排气阀;图3-7 排气阀结构;辅助排气阀;图3-8 双级泵结构示意图;5. 气镇阀;图3-9 气镇阀结构1－调节阀；2－气镇阀座；3－密封垫；4－挡块；5－钢球；6－弹簧;图3-11 保护阀;3.1.3.4 油雾的产生及分离 ;图3-13 油气分离器;3.1.3.5 除尘装置 ;图3-14 除尘器的工作原理图;6.1.1概述;6.1.1.1罗茨泵的种类;6.1.1.2罗茨泵在真空工程领域中应用：;水环－罗茨泵机组2;旋片－罗茨泵机组;滑阀－罗茨泵机组2;6.1.2罗茨泵的工作原理及其结构特点6.1.2.1罗茨泵的工作原理;6.1.2.2罗茨泵具有以下特点：;抽气特点：;6.1.3罗茨泵的结构; 罗茨泵是双转子容积式真空泵。其在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶。;6.1.3.1泵的结构特点;结构型式示意图1;6.1.3.2泵的传动方式;传动方式示意图;2） 电动机与齿轮传动设在转子的两侧;结构图;6.1.3.3泵的密封结构;1、主动轴外伸部分的动密封;2、齿轮箱与泵体之间的轴封;3、泵体端面的静密封;6.1.3.4罗茨泵的润滑部位主要有三处 ：;罗茨泵达到的极限压力与前级泵的极限压力有关：;6.1.4罗茨泵的转子型线;6.1.4.1转子型线要求和条件：;6.1.4.2型线的选择要考虑以下几个条件：;6.1.4.3常用的型线线形有：;几种型线的比较;6.1.4.4 实际型线6.1.4.4.1 工作间隙与装配间隙;泵在实际运转中，下列因素会使间隙减小：;装配间隙是确定转子实际型线的根据：;6.1.4.4.2 装配间隙的选取;6.1.5 罗茨泵设计中的关键问题; 3．要求齿轮耐磨性强，传动平稳，齿间的间隙不得过大。齿轮的精度常选用5～6级。为使传动平稳，噪音小，常用斜齿轮。为使齿轮装配和调整转子间的间隙方便，可选用调隙结构齿轮并在齿轮与轴之间采用涨套联接方式。;6.1.6 罗茨泵转子的冷却;6.1.6.1 转子的空气冷却;6.1.6.2 气冷式罗茨泵;6.1.7 罗茨泵的运行过载6.1.7.1 过载分析;6.1.7.2 防止过载的措施;6.2油扩散喷射真空泵;油扩散喷射泵;? 油扩散喷射泵是油蒸汽流泵的一种，主要油扩散喷嘴、喷射喷嘴等组成，使之在高真空方面有较大的抽速，在低真空方面有足够的临界前级压力。具有结构简单、无机械传动部分、运转可靠、维护方便、使用寿命长等特点。主要配置在高真空系统作为主泵与前级泵的中间级，也可单独作为高真空泵应用于冶金或抽出含有少量水气的工作场合。 ;6.2.1概述;6.2.2工作原理和结构特