刻蚀10-2浅析.ppt

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2017-05-03 发布于湖北
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刻蚀工艺;8.10 ULSI对图形转移的要求;;图形转移的保真度;;选择比;均匀性;刻蚀的清洁;8.11湿法腐蚀;8.11.1硅的湿法腐蚀1.硅的各向同性腐蚀;;2.硅的各向异性腐蚀;KOH系列腐蚀原理;;EPW系列腐蚀原理;;各向异性的自停止腐蚀 ;各向异性的自停止腐蚀;二氧化硅的腐蚀;磷硅玻璃的腐蚀;硼硅玻璃的腐蚀;氮化硅的湿法腐蚀;8.12干法刻蚀;;;刻蚀作用;SiO2和Si的干法刻蚀;氮化硅的干法腐蚀;;多晶硅与金属多晶硅化物的干法刻蚀;金属多晶硅化物的刻蚀;多晶硅的刻蚀;铝及铝合金的干法刻蚀;8.13 刻蚀速率;;