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洁净室分类及工作原理 一、洁净室原理　　 (一) 洁净室的定义　　 洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒（尘埃粒子）的污染。来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。洁净室绝不是仅限于洁净，不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体，是集建筑装饰（与大气相对隔断的密闭装修）、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物，洁净室（或洁净厂房） (二) 洁净室的分类实现层流的最低风速值 2.1按用途分类(可分为两大类)　 ①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。　 ②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为：　 A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。 B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。　　　 2.2按气流分类(按气流可分为四类)　　 ①.单向流洁净室（层流、活塞流）　　 ②.乱流净室　　 ③.辐射流（斜流）洁净室　　 ④.混合流洁净室（乱流、层流同在）　 (三) 单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)　　 (1) 既气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把室内污染排回风道。　 (2) 要想实现活塞流的作用，最重要的是高效过滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框，放置高铲过滤器也要有支架，不可能百分之百的满布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定，垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。 (四) 乱流洁净室的原理和特性　　 1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度是不平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。　　 2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，来实殃洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。 3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换气次数决定定义无反顾的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）　　 (五)洁净室的新风要求　　 按《洁净厂房设计规范》规定，乱流洁净室新风量应不小于总风量的10%-30%；单向流洁净室，新风量应不小于总风量的2%-4%，当然也可以根据洁净室的具体功能而定 洁净室 洁净室 　　一、洁净室之定义 　　洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。 　　洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 　　洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 　　如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。 　　二、洁净室控管之项目 　　1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 　　2. 能防止微尘粒子之产生。 　　3. 温度和湿度之控制。 　　4. 压