温州无尘车间洁净度如何确定详细分析汇.doc

 AUTHOR 7资料整理：温州康鼎净化/ 温州无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。必威体育精装版版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的 颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。 表7 美国联邦规格 No.209B 净化间级别粒子室内压力Pa mmH2O温度湿度气流 换气次数照度粒径 um累计粒子数范围 （℃）推荐值（℃）差 （℃）高 （%）最低 %误差 %100 1000 10000 100000≧0.5 ≧0.5 ≧5 ≧0.5 ≧5 ≧0.5 ≧5100 1000 10 10000 65 100000 700+13 （+1.3） 以上19.4— 2522.2 ±2.8 特别时为±1.44530 ±10 特别时为±5 层流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非层流方式 ≧20次/h 1080--1620 表8, 美国联邦规格No.209E的 洁净度级别分类 级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。* 级别名称**级别上限值粒径 0.1um粒径 0.2um粒径 0.3um粒径 0.5um粒径 5umSI***English Unit(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 1 10 100 1000 10000 100000350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- --9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- --75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- --2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- --30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- --0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- --10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 35300000.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000-- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800-- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 * 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。 ** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。 粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um） ***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写） 图1 ，209E的洁净度级别（图略） 图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 （ ）内数值是用English unit 表示级别。 图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度 表9，JIS B 9920主要内容 净化间级别标准粒径（um）累计粒子数(个/m3)1 2 3 4 5 6 7 80.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1101 102 103 104 105 106 107 108 表10，美国航空宇宙局规格主要内容 生物净化间级别粒子生物粒子室内 压力 Pa mmH2O 温度 ℃湿度 %气流 换气次数 照度