微机电系统概论_1.ppt

微机电系统; 主要内容; 参考书; 第一部分;简 介; 微机电系统的组成;微机电系统的发展状况; 集成电路技术的发展; 半导体晶体管计算机; 上世纪末的微型计算机芯片;; 国外的发展现状（1）; 国外的发展现状（2）; 国外的发展现状（3）; 国内的发展现状; 国内的主要研究现状及成果;北京大学微电子所;信息产业部13所;信息产业部49所;中国科学院上海冶金所;沈阳仪器仪表研究所;信息产业部24所; 东南大学;中北大学（华北工学院）微米纳米技术研究中心;浙江大学;重庆大学;中国科学院电子所;中国科学院合肥智能机械研究所; 哈尔滨工业大学;微机电系统的特征; 微尺寸效应的影响;;;;微机电系统的材料; 微机电系统的制造技术;微机电系统的测量技术; 微机电系统功能元件测量仪器;扫描显微术主要组成部份;原子力显微镜（AFM）工作原理; AFM扫描测量结果示例;微机电系统的应用; 一、在航空航天方面的应用;分布式大气数据计算机;由微机电功能单元构造的机敏材料与结构;气动扰动控制的柔性襟翼;昆虫微型侦察机; ;微型无人机;微小型卫星技术; 哈工大－试验卫星一号; 试验卫星一号重204 公斤;; 纳星一号重量小于25 公斤; 微机电系统与微小卫星技术;微型人造卫星核心元器件;XCG100/250低功耗微机械陀螺仪传感器系统;微型陀螺仪;微型内燃机;微型发动机;压电微电机;二、在信息科学方面的应用;微操作夹持器;三轴加速度计;加速度传感器;硅微压力传感器;单晶硅压力传感器芯体;XW-810微型惯性测量单元; ;微惯性传感器;汽车气囊展开系统智能惯性传感器;微齿轮;微 马 达;微 涡 轮;微 透 镜;叠层式密封2-DMEMS光开关模块 ;三、在生命科学方面的应用;;图所示为用于颅内压力监测的微系统。它由微型压力传感器(如硅电容式压力微传感器)和遥测单元组成。植入颅内腔的压力微传感器可以实时监测颅内病灶部位的压力变化，如脑出血时压力会增高。微型压力传感器实时检测信息，经内导线传给遥测单元输出，供医生做出正确判断，以便确定适宜的治疗方案。;单片夹持驱动器固定和测试细胞;微型内窥镜;微型游泳机器人;游泳机器人工作原理;游泳机器人实验系统;实验原理;四、在微流量系统方面的应用;;微流量化学分析系统;微型泵;; ;微小元器件; 微机电系统（MEMS）自学主题; 微机电系统（MEMS）研讨主题; 微机电系统（MEMS）研讨主题