扫描电镜(培训资料)_1.ppt

扫描电子显微镜;第三章 扫描电子显微镜;1. 扫描电镜的优点;Optical Microscope VS SEM;2. 电子束与固体样品作用时产生的信号;2.1 弹性散射和非弹性散射;SEM中的三种主要信号;SEM中的三种主要信号;其他信号;2.3 各种信号的深度和区域大小;3. 扫描电镜的工作原理;4. 扫描电子显微镜的构造;电子光学系统;电子枪;信号收集及显示系统;真空系统和电源系统;5. 扫描电镜衬度像;二次电子产额δ与二次电子束与试样表面法向夹角有关，δ∝1/cosθ。 因为随着θ角增大，入射电子束作用体积更靠近表面层，作用体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多；其次随θ角的增加，总轨迹增长，引起价电子电离的机会增多。;（a）陶瓷烧结体的表面图像（b）多孔硅的剖面图;5.2 背散射电子像;两种图像的对比;对有些既要进行形貌观察又要进行成分分析的样品，将左右两个检测器各自得到的电信号进行电路上的加减处理，便能得到单一信息。 对于原子序数信息来说，进入左右两个检测器的信号，其大小和极性相同，而对于形貌信息，两个检测器得到的信号绝对值相同，其极性恰恰相反。 将检测器得到的信号相加，能得到反映样品原子序数的信息；相减能得到形貌信息。 ;背散射电子探头采集的成分像（a）和形貌像（b）;6. 扫描电子显微镜的主要性能;6.1分辨率; 6.2 景深 ;7. 样品制备;;8. 扫描电镜应用实例;1018号钢在不同温度下的断口形貌;ZnO纳米线的二次电子图像 ;（a）芯片导线的表面形貌图， （b）CCD相机的光电二极管剖面图。;* ;* ;* ;* ;* ; （1）．放大倍数 荧光屏上的扫描振幅 电子束在样品上的扫描振幅 放大倍数与扫描面积的关系： (若荧光屏画面面积为10×10cm2) 放大倍数 扫描面积 10× (1cm)2 100× (1mm)2 1,000× (100μm)2 10,000× (10μm)2 100,000× (1μm)2 ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;元素像;* ;样品制备;样品制备;样品制备;样品制备;样品制备;* ;* ;* ;X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为：;* ;在Si(Li)晶体两端偏压来收集电子空穴对???（前置放大器）转换成电流脉冲→（主放大器）转换成电压脉冲→（后进入）多通脉冲高度分析器，按高度把脉冲分类，并计数，从而描绘I－E图谱。 ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;镁合金中的析出相Mg2Si的鉴别 ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;* ;1．理解扫描电子显微镜的工作原理、结构与组成，掌握表征仪器性能的主要技术指标。 2．熟悉扫描电子显微镜的样品制备方法。 3．掌握二次电子像、背散射电子像的像衬原理、特点、分析方法及应用；了解其它电子像的像衬原理、特点、分析方法及应用。 4．了解波谱仪和能谱仪的工作原理，掌握它们的应用特点。 5．电子探针的点分析、线分析和面分析的应用