ESD知识讲义探析.ppt

ESD 知識講義 ;静电放电（ＥＳＤ-- Electro Static Discharge）问题是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热（火花）效应和电磁效应等的学科。近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电的电磁场效应如电磁干扰（ＥＭＩ）及电磁兼容性（ＥＭＣ）问题越来越重视。 ;静电的概念;?? 靜電產生的原理 : ? 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 ? ;+ + + + + + + + + + + +; 3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下:;物体不接触也能起电吗？ 除物体除接触后分离能起电外，当带电物体接近不带电物体时会在不带电的导体的两端分别感应出负电和正电，如下图1所示。当物体Ａ与Ｃ发生放电时会造成Ｃ与Ｂ之间放电，如下图2所示。若Ｃ与Ｂ之间不发生放电，则Ｃ会带上剩余的电荷，如下图3所示 ; 靜電電荷產生的種類: ;靜電電荷對微電子工業的影響: ;半導體的靜電敏感度: ;Table 2Examples of Static GenerationTypical Voltage Levels;靜電放電的三種型式: ;Different ESD models (RD 1);Components class 0 thresholds;二静电控制的基本原理及措施;Handle Components/equipments class 0.;静电控制原理;静电控制原理;ESD等級分類: ; ESD失效的潛伏性: 有時ESD並沒有把半導體完全破壞, 而只把元件某部分的品質降低. 從事ESD敏感半導體等行業應留意以下幾點: 1). [潛伏性的ESD問題]: 在任何場合都會發生; 2). [潛伏性的ESD問題]: 將會累積起來加深其損壞的嚴重性 ; 3). [潛伏性的ESD問題]: 在運送ESD敏感性元件, 更加無法估計其產生的可能性; 4). [潛伏性的ESD問題]: 不只是影響成品用家, 也會影響各層制造商的維修費及聲譽; 5). [潛伏性的ESD問題]: 目前還沒有辦法把此問題的產品全部找出來. ;1、ESD-Electrostatic discharge-静电释放,即静电电荷在不同电势的物品或表面之间转移的过程. 2、EOS-Electrostatic Overstress-静电损伤,即器件接受静电释放时,其特性产生变化,通常性能变差,但未完全失效. 3、ESDS-ESD Sensitivity Susceptibility-静电敏感性（度），衡量一个器件对静电破坏所能感受的程度，即其特性在不同的静电水准下改变多少. ; 4、Antistatic-指材料阻止磨擦起电的性能，在本文中，防静电材料通常其磨擦起电的静电电压低于±200Volts. 5、Electrostatic Shielding-静电屏蔽，设置在物体周围的导体屏障以排出外电场的影响. 6、Conductive Material-导电性材料，在本文中，这种材料的表面电阻率低于10E5Ω，M或体积电阻率低于10E4Ω.m. ; 7、Insulative Material-绝缘材料,在本文中,这种材料的表面电阻率大于10E5Ω.M,或体积电阻率大于10E4Ω.M. 8、Equipment Ground-设备接地,电气设备与硬地电极之间的低阻抗通路.通常为电源插座的第三端. 9、ESD Ground-静电接地,由导体所组成的电极,金属带,金属棒等,用来构成连接带有静电电荷的人或物体与大地之间通路. ; 10、Tribo-electric Charging-磨擦起电,当两个最初接触的物体(一方或变方均为绝缘体)分离时而产生静电电荷积累. 11、ESD Protective Packaging-静电防护包装,一种包装方式,可以用来限制静电每感器件磨擦起电电荷的积累,或者为ESD器件提供静电屏蔽. 12、靜電逸散材料-材料表面電阻率大於1x10E5 ohms/square, 小於1x10E12 ohms/square,或者體積電阻率大於1x10E4 ohms-cm, 小於1x10E11 ohms-cm. ; ;進入EDS防護場地人员; 3、SMT现场之工作人员,除佩戴相应之防静电手环外,还应该穿防静电服与防静鞋; 4、品检人员应佩戴证明有效的无线式防静电手环,但当检验静电敏感器件(如IC,电晶体,二极体,晶振)等时,或带有ESDS器件的产品