6.1微电子发展规律以及趋势 电子器件与工艺课件.ppt

6.1微电子技术发展的 规律及趋势 合肥工业大学;Moore定律;Moore定律;Moore定律; ;;PC机配置比较 ;微处理器的性能;集成电路技术是近50年来发展最快的技术 微电子技术的进步;;Moore定律 ?? 性能价格比;信息技术发展的三大规律;硅微电子技术的三个主要发展方向 特征尺寸继续等比例缩小 集成电路(IC)将发展成为系统芯片(SOC) 微电子技术与其它领域相结合将产生新的产业和新的学科，例如MEMS、DNA芯片等;集成电路的集成度是指单块芯片上所容纳的元件数目。集成度越高，所容纳的元件数目越多。集成电路的线宽通常可理解为所加工的电路图形中最小线条宽度，但在MOS电路中，人们也常栅极长度来定义线宽。集成度与线宽有对应关系，即集成度越高，线宽越小，所以，线宽也常用来表示集成电路制度技术水平的高低。; ;第一个关键技术层次：微细加工 目前0.25?m和0.18? m已开始进入大生产 0.07? m和0.045? m大生产技术也已经完成开发，具备大生产的条件 在0.045-0.03um阶段，最关键的加工工艺—光刻技术还是一个大问题，尚未解决 Intel表示32nm工艺仍定在2009年下半年完成，产品代号Westmere，相当于Nehalem的制造工艺优化版，类似于Penryn和Core的关系。基于32nm工艺的全新架构Sandy Bridge则正在开发之中，2010年下半年推出。2011年的22nm版本暂未定名。 ;;;第二个关键技术：互连技术 铜互连已在0.25/0.18um技术代中使用；但是在0.13um以后，铜互连与低介电常数绝缘材料共同使用时的可靠性问题还有待研究开发;互连技术与器件特征尺寸的缩小 （资料来源：Solidstate Technology Oct.,1998）; ;IC产业的几次分工;IC设计的分工;半导体产业的发展 Chipless ;MEMS技术和DNA芯片;目前的MEMS与IC初期情况相似;MEMS器件及应用;大机器加工小机器，小机器加工微机器;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片;MEMS技术和DNA芯片; 一般意义上的系统集成芯片 广义上的系统集成芯片;作业