多晶硅太阳电池扩散工艺影响因素分析.pdf

多晶硅太 阳电池扩散工艺影 响 因素分 析? 刘丹 娟??． 何? 伟??? ??．新余学 院 ，江西 新余 ??????；?．江西省高等学校硅材 料重点实验室 ，江西 新余 ???????? 摘要 ：工业生产 中普遍采用液态三氯氧磷???????作为 多晶硅太 阳电池的扩散磷源。研究了各种工艺参数对扩散方块 电? 阻的大小及均匀性的影响。结果表 明：提高扩散温度、增加主扩散时间、减小再分布 时间、增 加小氮流 量、减小大氮流量 。? 可以减小方块 电阻 ；合理设置炉 管内的温 度分布、适当增加大 氯流量 ，可以改善方块 电阻的均 匀性 ；氧气 流量对方块 电? 阻影响不大。得 到了一组优化 的扩散工艺参数 。测得方块 电阻为 ??．?? 口 。片 内极差为 ?．?％。片 间极差为 ?．?％。? 关键词 ：太阳 电池 ；扩散 ；方块电阻 ；均匀性? 中图分类号 ：??????．?? 文献标识码 ：?? 文章编 号 ：????—???????? ????— ????—??? ? ? ， ’? ’? ? ● ? ? ●? ?? ，、? ? ? ●? ● ’ ●? ???????????????????????????????????? ?????????? ???????????????? ???????????????????? ?????????????．???????’? ． ????? ?????????????????????????????，??????；? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????，??????? ????????： ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。 ?????????????? ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????? ?????．? ? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????? ???????????，?????????????????????????????，?? ???????????????????? ??????????