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多晶硅太阳电池扩散工艺影响因素分析.pdf
多晶硅太 阳电池扩散工艺影 响 因素分 析?
刘丹 娟??. 何? 伟???
??.新余学 院 ,江西 新余 ??????;?.江西省高等学校硅材 料重点实验室 ,江西 新余 ????????
摘要 :工业生产 中普遍采用液态三氯氧磷???????作为 多晶硅太 阳电池的扩散磷源。研究了各种工艺参数对扩散方块 电?
阻的大小及均匀性的影响。结果表 明:提高扩散温度、增加主扩散时间、减小再分布 时间、增 加小氮流 量、减小大氮流量 。?
可以减小方块 电阻 ;合理设置炉 管内的温 度分布、适当增加大 氯流量 ,可以改善方块 电阻的均 匀性 ;氧气 流量对方块 电?
阻影响不大。得 到了一组优化 的扩散工艺参数 。测得方块 电阻为 ??.?? 口 。片 内极差为 ?.?%。片 间极差为 ?.?%。?
关键词 :太阳 电池 ;扩散 ;方块电阻 ;均匀性?
中图分类号 :??????.?? 文献标识码 :?? 文章编 号 :????—???????? ????— ????—???
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