小波变换在MEMS降阶建模中的研究.PDF

3 2 2 2 2 2 Ζ Π Y Y 第 44 卷 　增 刊 厦门大学学报 (自然科学版) Vol. 44 　Sup. 　2005 年 6 月 Journal of Xiamen University (Nat ural Science) J un. 2005 　 小波变换在 M EMS 降阶建模中的研究 张玉德 ,孙道恒 (厦门大学机电工程系 ,福建 厦门 361005) 摘要 : 获得系统的宏模型是 MEMS 系统级建模与仿真的关键. 提出将小波变换的方法应用于 M EMS 降阶建模. 介绍了 小波变换的理2 论2基础 ,提出了运用小波变换的方法对 MEMS 进行多尺度降阶建模的基本思想和算法的基本原理. 针对最 常见的静力学问题 ,建立了有限元求解方程 ,采用小波变换的方法提取出系统的几个不同阶次的降阶模型. 算例表明 :利 用该方法通过适当的降阶次数 ,提取降阶模型可以大幅度地减少计算时间 、降低计算复杂度 ,特别适合 M EMS 这种大系 3统的降阶建模. 关键词 : 小波变换 ;多尺度分析 ;微机电系统 ;系统级建模 ;降阶模型 中图分类号 : TB 115 　　　　　文献标识码 :A 　　　　　文章编号 :0438 0479 (2005) Sup 0298 04 　　系统级建模和仿真是 M EMSCAD 最为关键的重 要环节 ,但还没有成熟的统一的理论方法用于 M EMS 1 　小波变换及其多尺度分析 ( Micro Electro Mechanical System) 系统级建模. 目 1. 1 　多尺度分析 前 ,有限元方法 ( Finite Element Method) 是被人们广 多尺度分析