曾世铭 单晶硅少子寿命测是试影响因素的研究.ppt

单晶硅少子寿命测试影响因素的研究;关键词：单晶硅；少子寿命；钝化;1 引 言;我们通过研究，获得了寿命裸测值与钝化值间的对应关系，根据裸测值可以较方便地给出单晶的体寿命值，以满足生产要求。同时也总结了影响单晶硅片少子寿命测试的一些因素。;2 实验条件和过程 ;3 结果和讨论;3.2 表面形态对少子寿命测试的影响;图2. 不同腐蚀时间t的样品表面显微照片(600倍，a. t=0；b. t=1min；c. t=3min；d. t=5min) Fig.2. Micrograph of the surface acid etching at different time. ;同时也表明硅单晶棒的寿命裸测值是变化的，如果切断用带锯的刃口粗钝，进刀速度快，则寿命的裸测值必然很低，这并不代表单晶的体寿命低。一般说来，裸测寿命时，单晶棒端面是不经过酸腐蚀的，寿命值较低，只需总结出寿命裸测值与钝化值之间的关系，就可得出相应的单晶体寿命值。 ;3.3碘酒浓度对少子寿命测试的影响;3.4 ??同样品钝化后的效果;结果表明，相同条件下，使用WT-2000PV型少子寿命测试的结果普遍比使用WT-1000B测得的结果要高；WT-1000B少子寿命测试仪测试钝化前的单晶硅片的少子寿命大于1.7μs时，钝化后的少子寿命都大于10μs，硅片符合出厂标准；当使用WT-2000PV少子寿命测试仪测试钝化前的少子寿命大于2.8μs时，钝化后的少子寿命也都大于10μs，硅片符合出厂标准。 因为不用切片，各公司一般大都采用WT-1000B型仪器进行硅单晶棒的裸测寿命工作，而WT-2000PV仪器多用于科研方面。 ;4 结 论;选取不同少子寿命的单晶硅片，用0.08mol/L的碘酒进行钝化，使用WT-1000B和WT-2000PV型少子寿命测试仪进行对比，发现使用WT-2000PV型少子寿命测试的结果普遍比使用WT-1000B测得的结果要高； WT-1000B少子寿命测试仪测试钝化前的单晶硅片的少子寿命大于1.7μs时，钝化后的少子寿命都大于10μs, 以此作为我们硅单晶和硅片的出厂标准；当使用WT-2000PV少子寿命测试仪测试钝化前的少子寿命大于2.8μs时，钝化后的少子寿命都大于10μs。 ;参考文献;完 谢 谢