微系统技术的重要性.ppt

课程名称： 微系统技术基础;授课教员: 褚家如 教授 文鹤鸣 教授 朱学林博士 办公室地点: 力学3楼 308, 302室 电话: 3607504, 3600214 电子邮件: jrchu@ustc.edu.cn;主要参考书： 1．Fundamentals of Microfabrication, by M. Madou, CRC Press, 1997. 2．Micromachined Transducers Sourcebook, by Gregory T. A. Kovacs, McGraw-Hill Press, 1998. 3. 微加工和微机械电子系统，江刺正喜 藤田博之 五十岚伊势美 和杉山进，培风馆，1992年。 4.Methodology for the modeling and simulation of microsystems, by Bartlomiej F. Romanowicz, Kluwer Academic Publishers, 1998? 5．微机械与微细加工技术，苑伟政 马柄和，西北工业大学出版社，2000年 ;有关的参考论文源： ? 1．Journal of Microelectromechanical Systems; 2． Sensors and Actuators 3． Journal of Micromechanics and Micrengineering 4．? Applied Physics Letter 5．? Journal of Vacuum Science and Technology B 6．? Japanese Journal of Applied Physics 7．? Review of Scientific Intruments 8． Proceedings of IEEE Annual International workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS Workshop) 9．? Digest of Technical Papers in International Conference on Solid State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS) 10． Proceedings of the International Workshop on Microfactories 11． Proceedings of International Microprocesses and Nanotechnology Conference 12 传感技术学报 (教育部) 13 微纳电子技术 (信息产业部电子13所主办) 14 压电与声光 (信息产业部电子26所主办) １５　微细加工技术（４８研究所） 16 光学精密工程 （精密机械学会） 17 纳米技术与精密工程（天津大学） ;? ;生物、集成电路和机械的比较; 在微小尺寸范围，机械依其特征尺寸可以划分为1-10mm的小型机械，1um-1mm的微型机械以及1nm-1um的纳米机械。所谓微型机械从广义上来讲包含了微小型和纳米机械。; 微系统是指形体虽小，但是具有高级功能的微小机电光集成系统。 它通常包括传感器、驱动器和必要的电子线路等要素，以及它们的混合集成系统。微系统在国际上尚未有一个统一的名称。在美国这方面的研究是在半导体集成电路工艺的基础上延伸和发展开来的，故称为MEMS，这也是目前广泛使用的名称。在欧洲称为Microsystem Technology 即“微系统技术”，这一称谓更加强调系统的观点，即如何将多个微型化的传感器、执行器和处理电路集成为一个智能化的有机整体。在精密机械加工方面有传统优势的日本称为Micromachine，即“微型机械系统”或者“微型机械”。 ;信号传输 和处理单元;微传感元件;2. 典型MEMS和微系统产品;;;;返回;【マイクロ旋盤】　旋盤は材料を回転させて様々な形状を削り出す生産機械です。マイクロファクトリ実現の可能性やその効果を実験的に調べるために、小さな旋盤を作り、性能や効果を調べました。　写真1が世界最小のマイクロ旋盤です。寸法は長さ32mm、奥行き25mm、高さ30.5mmです。重量は100gです。主軸を回すモータの定格動力は1.5Wで、乾電池４個（直流6V）で動きます。普通の旋盤と比較すると、大きさ約1/50、重さ約1/5000、モータの動力は1/500以下になります。　写真の一番左が刃物台で、バイト（切削工具）を固定します