光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法.pdfVIP

学兔兔 第46卷第7期 机 械 工 程 学 报 VO1．46 NO．7 201 0年 4月 JOURNAL 0F MECHANICAL ENGINEERING Apr． 2010 DoI：1O．3901，孙僵E．2010．07．122 光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法木 穆海华 ，2周云飞 周艳红2 (1．华中科技大学数字装备与技术国家重点实验室 武汉 430074； 2．华中科技大学计算机科学与技术学院 武汉 4300741 摘要：研究一种步进手1描投影光刻机的步进运动与扣描运动的轨迹重叠规划算法。根据给定的系统动力学约束，以保证最大 加速度与最大速度不超限为目标，建立步进运动与扣描运动轨迹重叠规划的约束基准。依据该基准，分析步进运动与扣描运 动轨迹重叠规划的各种可能情形，推导在最大程度上缩短运动执行时间的轨迹拐点调整计算公式。以此为基础，提出步进运 动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。通过仿真计算验证算法的正确性与有效性。实际应用证明该算法能在保证运动精度基础 上，极大地提高生产率。该算法已被 100 nm步进扣描投影光刻机工作台超精密运动控制系统所采用。 关键词：步进扫描运动 约束基准 轨迹规划 重叠 中图分类号：TP391 Algorithm of Traj ectory Overlay Planning for Step-and Scan-move in Scanner Lithography MU Haihua ’ ZHOU Yunfei ZHOU Yanhong r1．State Key Laboratory of Digital Manufacturing EquipmentTechnology, Huazhong University of ScienceTechnology,Wuhan 430074； 2．College of Computer Science＆Technology,Huazhong University of Science＆Technology,Wuhan 430074) Abstract：An algorithm of trajectory overlay planning is investigated for step-—move and scan-·move of step--scan lithography．Based on system dynamic constraints，several criteria of trajectory overlay planning are constructed to ensure motion parameters planned within its preset values respectively．All available instances of trajectory overlay planning are discussed，and relevant equations are further derived．As a result,the algorithm of trajectory overlay planning for step-move and scan—move is presented．The correctness and effectiveness of the algorithm are demonstrated by simulation calculation and practical results．Hi【gh productivity and high motion accuracy are obtained by appl