【2017年整理】LCD制造工艺流程(技术类)1.0.ppt

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【2017年整理】LCD制造工艺流程(技术类)1.0

本教材共2小时;一、液晶显示器制造工艺流程;1.1 液晶显示屏制造工艺流程;图案段工艺示意图;1.1.2 前工序定向段;;1.1.3 前工序组合段;框胶; 投料 ITO Input; 来料ITO 玻璃主要的污染物为:灰尘,油脂等,一定温度的碱 液对ITO 玻璃有很好的清洗作用,高纯水清洗可去除溶于水的杂 质及一些灰尘,同时还能够上工序的碱液去除掉,而超声波的清 洗作用,在于利用水分子在超声波的作用下发生振动摩擦,使玻 璃表面粘附的杂质松动而脱落。水洗后的玻璃要进行干燥处理, 方法为风刀吹去玻璃表面的水然后经过红外光烘箱干燥。 玻璃基板的污物种类不同,针对不同的污物种类选择不同的 清洗方式: 油污类有机清洗,紫外光清洗 有机物弱碱液清洗,等离子体 无机物弱酸,气流,喷淋 残留微粒子超声,喷淋,气流 注意事项: 1. 有机溶剂必须储存在阴凉的地方,不要靠近明火; 2. 易挥发且有毒性,使用时尽量少接触皮肤或者吸入体 ;3. 不慎着火,用沙,泡沫,二氧化碳灭火器灭火。 清洗与干燥的工作原理:ITO 导电玻璃进行洁净处理,ITO 导 电玻璃在其制作,包装,运输过程中很容易被灰,油脂等杂质污 染,未经洁净处理的玻璃无法保证工艺的质量要求,而这些杂质 是依靠静电吸附在玻璃表面,比较容易去除。 A.有机溶剂去污原理:(去除油脂类物质)油脂不溶于水,但它 可溶于甲苯,丙酮,乙醇等有机溶剂,其中甲苯的去污能力最强, 所以先用甲苯洗,但甲苯不能残留在玻璃的表面。因甲苯可溶于 丙酮,可再用丙酮进行清洗,把残余的油脂清洗掉,同时甲苯也 溶解,同样丙酮也不能够残留在玻璃表面,因丙酮溶于乙醇,所 以继续用乙醇进行清洗,乙醇可以与水相溶解,最后用大量的去 离子水把乙醇溶解。因此清洗流程为: 甲苯 丙酮 乙 醇 去离子水(有机化学中的相近相溶原理) B.洗洁精的去污原理:洗洁精(表面活性剂)能够使不相溶的 液体成为乳浊液。通过此乳化作用将油脂包围在水中而形成乳浊 液来达到去污作用,玻璃经过洗洁精去油污后,再依次用大量的 自来水,去离子水冲洗就可以达到洁净玻璃表面的目的。 C.干燥工艺原理:经过清洗后的玻璃,表面沾有水或者有机溶 剂等清洗液,这将会对后续工序造成不良影响,特别是光刻工艺 会产生浮胶,钻刻,图形不清晰等,因此玻璃必须经过干燥处理。 ; 涂胶前洗净 PR Cleaning ; 风刀吹干法:STN 线上是一种高效省时的干燥玻璃表面的方 法,用高纯水淋洗过的玻璃随生产线传送到风刀位置,由数个高 压喷嘴把经过净化处理的空气以适当的倾斜角成刀片状吹向玻璃 表面,迅即吹干玻璃。 超声波清洗: 特点:速度快,质量高,易于实现自动化,特别适有于清洗表 面形状比较复杂的工件,对声反射强烈的材料,其清洗效果较好。 作用机理:通过超声空化作用,存在于液体中的微气泡(空气核) 在声场的作用下振动,当声压达到一定的值时,气泡将迅速增长,然 后突然闭合,在气泡闭合时产生冲击波,在其周围产生上千个大气压 的压力,破坏不溶性污物而使它们分散在清洗液中 ;  涂胶   PR Coating ;光刻胶的配制: 配比原则: 既要使光刻胶具有良好的抗蚀能力,又要有较高 的分辨率。 光刻胶中溶剂用量的多少决定着光刻胶的稀稠,从而影响光 刻胶的厚薄,较稀的胶,光刻胶膜较薄,分辨率高,图形较为清 晰。配制在暗室中红光或者黄光下进行,用量筒按配方比例将原 胶及溶剂分别量好,再将溶剂倒入原胶,用玻璃棒充分搅拌均匀 Page 9 of 28 混合,再把配制好的光刻胶中未能够溶解的固态杂质微粒滤除(目 的在于改善胶膜与掩模版的接触以减少胶膜针孔和提高分辩率), 装在暗色的玻璃瓶中,并保存在阴凉和干燥的暗箱中。 ;涂胶:在使用前一定先把胶从低温条件下取出,在使用场地放 置至瓶内胶的温度与环境温度相同时方可打开瓶盖,使用前必须 进行粘度测试,(粘度的调整采用稀释的方法,加入一定量的稀释 剂),玻璃表面状况对光刻胶的接触与粘附具有较大的影响,因此 清洗后的玻璃经过紫外线照射对其表面进行活化处理,然后再涂 光刻胶。要求:不能够有脱落现象;涂层厚度均匀;涂层表面状 态不能有条纹,针孔,突起等缺陷。方法:辊涂,必须在洁净条 件下进行,温度19~25 度,湿度60%,不含紫外光成分的黄灯下 进行操作。; 预烘 Pre Bake ; 曝光 Exposure;如果曝光时间不充分,光刻胶咸光不足,化学反应不完全,显影时受光部分溶解不彻底,易留底膜;曝光时间过长,不该曝光部分边缘也被微弱感光,刻蚀后图形边界模糊,细线条变形严重。 注意事项: 1. 掩模版上机前要严格检查,因为版若有缺陷做出的产品也 会有缺陷,特别是不能够有版污染,划伤等。 2. 曝光定位一定要准确,否则后工序无法加工。 ; 显影 De

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