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精密机床静压气体轴承静特性分析及基本参数的优化

2012年 1月 润滑与密封 Jan.2012 第37卷 第 1期 LUBRICATION ENGINEERING Vo1.37No.1 DOI:10.3969/j.issn.0254—0150.2012.01.007 精密机床静压气体轴承静特性分析及基本参数的优化 李树森 郭永红 朱赞彬 曾剑锋 (东北林业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨 150040) 摘要:对精密机床气体轴承静特性进行理论分析,运用有限元法将雷诺方程离散化,得到静压气体轴承的承载能 力、刚度以及供气量的计算公式。对某精密机床小孔节流静压气体轴承的静态特性进行分析,得到供气压力、偏心率、 节流孔直径和刚度以及承载能力之间的关系曲线;通过优化分析,得到精密机床主轴前后静压气体轴承优化的结构参数 和操作参数。 关键词:超精密;气体轴承;静态特性 中图分类号:TH133.3 文献标识码:A 文章编号:0254—0150(2012)1—029—4 StaticCharacteristicsAnalysisandBasicParametersOptimization ofAerostaticBearingforPrecisionMachineTool LiShusen GuoYonghong ZhuZanbin ZengJianfeng (MechanicalandElectricalEngineeringInstitute,NortheastForestryUniversity,HarbinHeilongjiang150040,China) Abstract:Thestaticcharacteristicsofgasbearingfortheprecisionmachinetoolwereanalyzedintheory,theReynolds equationwasdiscretizedwiththefiniteelementmethodandthecalculatingformulaofbearingcapacity,stiffnessandthe amountofgassupplyweregot.Thestaticcharacteristicsofaerostaticbearingwithorificecompensatedofraprecisionma— chinetoolwereanalyzed,therelationcurvesofgassupplypressure,eccentricity,orificediameterstiffnessandbearingca— pacityweregot.Byoptimizationnaalysis,thestructureandoperationpraameters ofaerostaticbearingofrprecisionmachine toolspindlewereconcluded. Keywords:ultra—precisionprocessing;gasbearing;staticcharacteristics 气体润滑轴承一般采用空气作为轴承润滑剂,因 体润滑轴承和金刚石刀具相结合的超精密机床 ;英 此通常也被称为空气润滑轴承u。气体润滑轴承技术 国Cranfield大学精密工程公 司 (CUPE)研制 的 是20世纪中期迅速发展起来的一项高新技术 ,它与 OAGM2500大型超精密机床 j,其磨头和测量头均采 传统轴承技术相比具有很多优 良特性:如摩擦极小、 用气体润滑轴承支承,能达到较高的回转精度,主要 温升小、无污染、无磨损、回转精度高、能在环境恶 用于磨削x射线天体望远镜的大型曲面反射镜,还 劣的场合很好地工作等 。 可用于超精密车削加工和坐标测量,其分辨率能达到 静压气体轴承在高转速下有较高的回转精度 ,应 2.5nm;我国洛阳轴承研究所研制的超高速主轴采用 用于精密机

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