UPS不断电系统负载管理与压降防御.PDF

UPS不斷電系統負載管理與壓降防禦 UPS Load Management and Power Dip Defense 王儒生 J.S.Wang 台灣積體電路製造股份有限公司 八廠 UPS不斷電系統負載管理與壓降防禦 大綱 不斷電系統型式與特性 電力品質影響與概述 半導體設備與電壓驟降問題 半導體設備模型分析 半導體製程設備防護能力提升 電力系統負載重整 製程設備線路修改實務 在如何在不大幅擴充UPS前提下 1.提升生產機台壓降防禦能力? 2.提升UPS裝置效益? 3.新廠降低建置成本並兼具品質？ UPS不斷電系統負載管理與壓降防禦 製程機台受電力影響當機原因 依據美國電力研究院(EPRI ， Electric Power Research Institute) 與電力電子應用中心 ( PEAC ，Power Electronics Application Center) 研究報告，分析機台遭受壓降時之異常原 因分析，研究結論指出在電壓驟降過程造成設備當機之原因，如表(四)所示電壓驟降造成當 機原因之比例。 1.EMO circuit 2. Main MC contactor 3. GFCI(GFCT) 4. 5.Controller 製程機台受電力影響當機原因 UPS不斷電系統負載管理與壓降防禦 製程機台模組化及電力特性分析 機台局部電源改接技術，透過製程機台模組化及電力特性分析，典型機台架構一般包含主 機、附屬設備、控制系統與相關保護元件等所組成，如圖為半導體製程機台電力架構簡圖。 主機 Tool main body Tool utility connection EMO loop Tool power rack - GFCI (Ground Fault Current Indicator) - K1 main MC - DC power - Main breaker CB1 附屬設備 Chiller Local scrubber Cryo pump 半導體製程機台電力架構圖