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上海化工研究院(评价机构)受上海和辉光电有限公司(建设
上海环境热线
说 明
上海化工研究院(评价机构)受上海和辉光电有限公司(建设单位)委托开展
对“第6 代低温多晶硅(LTPS )AMOLED 显示项目”环境影响评价。现根据国家
及本市法规及规定,并经上海和辉光电有限公司同意向公众进行第二次信息发布,
公开环评内容。
本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段,将在听取公众、专家等各方面意见
的基础上,进一步修改完善。
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1 建设项目概况
1.1. 建设项目的地点及相关背景
上海和辉光电有限公司位于上海市金山工业区九工路 1568 号,公司成立于2012
年10 月,主要生产中小尺寸AMOLED 显示屏和研发下一代显示技术。
根据市场需求,公司拟投资272.78 亿元,新征现有厂区外东南地块(九工路以南,
时代大道以西,天工路以北,东兴路以东),建设第6 代低温多晶硅(LTPS )AMOLED
显示项目,主要产品为中小尺寸AMOLED 显示屏及模块。
1.2. 建设项目主要建设内容、生产工艺、生产规模、建设周期和投资
1.2.1 建设内容
建设工程包括生产及辅助生产设施、动力设施、环保设施、安全设施、消防设施、
管理设施以及相应的建(构)筑物,具体内容如下:
① 生产及辅助生产设施:由阵列工程、OLED 工程、模组工程、测试工程、QCQA
工程、显示面板包装、托盘(溅射靶)清洗、技术管理、设备维修、库房(原辅材料
库、半成品库、成品库、化学品库、危险品库);
② 动力设施及其他设施:水源工程、循环冷却水站、纯水制备与输送系统、化
学品分配供应系统、大宗气体输送(纯化)系统、特种气体输送系统、变电站(供电
局建设)、电力照明系统、空调净化系统、空压站、制冷系统、环保设施(废水处理设
施、废气处理设施、废液回收设施)、消防设施、劳动保护安全设施、室外工程;
③ 管理设施由办公区(厂房内)、办公楼、研发楼及门卫等组成;
④ 大宗气体制备与供应站由专业气体公司自行建设。
1.2.2 生产工艺
本项目产品为传统产品和柔性产品两大类,产品生产总体工艺及制程同现有工程,
主要由阵列工程(Array )、有机蒸镀工程(OLED )、模块工程组成。本项目产品与现
有工程产品区别主要在OLED 段,现有工程产品采用传统封装工艺,本项目产品全部
采用柔性封装。此外,项目新增材料回收工艺,拟对蒸镀过程产生的废有机发光材料
进行回收利用。
(1)阵列工程(Array )
传统产品阵列工程(Array ):在玻璃基板上进行多道清洗、成膜、掺杂、涂敷、
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光刻、刻蚀、剥离等工序制作。柔性产品阵列工程制作基材为聚酰亚胺膜(PI 膜),
其余制作工艺流程与传统产品一致。
(2 )有机蒸镀工程(OLED )
阵列基板在高真空腔室中蒸镀有机发光材料薄膜,然后进行柔性封装。柔性封装
工艺主要由玻璃翻转、超声波清洁、化学气相沉积、喷印、气相原子沉积、层压贴附
组成。
项目设一条蒸镀测试(Miniline )线,位于有机蒸镀线旁,主要用作蒸镀材性能的
测试。制作流程与有机蒸镀工程工艺类似,工序上只进行简单的磨边-剥离-清洗-蒸镀-
封装-测试。测试片尺寸为200×200mm 。
(3 )模块工程
传统产品模块制程是将面板贴敷偏光片,使OLED 面板与外部驱动芯片和信号基
板相连接,组装后经老化处理、电气特性检查后即成为模块。此模块提供给下游厂家
使用。柔性产品是在PI 膜上贴附保护膜后,进行上述模块工艺流程制作。
(4 )材料回收
将待回收的有机发光材料进行纯化处理,主要分为溶解、过硅胶、析出过程。纯
化后通过过滤,分离出固体有机发
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