世界各国洁净室基准规格的说明.docVIP

洁净室标准规格说明（一） ? 下一页 ??目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。 表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格 洁净室级数（Class) 微尘粒子 压力 温度 风速与换气率（次/hr) 照度lux 粒子大小um 粒子数目Particles/ft3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ 最大MAX% 最小MIN% 误差% 层流方式0.35~0.55 m/s 1080 ~ 1620 1 ≧0.5 ≦1 ＞1.3 19.4~25 22.2 ±2.8 　 特 殊 需 求 ±1.4 45 30 ±10 　 特 殊 需 求 ±5 ≧5.0 0 10 ≧0.5 ≦10 ≧5.0 0 100 ≧0.5 ≦100 ≧5.0 ≦1 1000 ≧0.5 ≦1000 乱流方式≧20 次/hr ≧5.0 ≦10 10000 ≧0.5 ≦10000 ≧5.0 ≦65 100000 ≧0.5 ≦100000 ≧5.0 ≦700 ??至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。 表1-2 美国联邦标准209E 洁净度等级 微尘粒子 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 单位 单位 单位 单位 单位 公制 英制 (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 - - 26500 750 10600 300 3530 100 - - M4 - - 75700 2140 30900 875 10000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 - - - - - - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 2470 70.0 M6 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - - 3530000 100000 24700 700 M7 - - - - - -283000 61800 1750 ??美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。 表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准 粒径\级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 C