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基于CMOS激光位移传感器的板厚测量系统

学兔兔 基于CMOS激光位移传感器的板厚测量系统 雷 霆,等 基于CMOS激光位移传感器的板厚测量系统 雷 霆,秦东兴,胡 峰,金 伟 (电子科技大学 四川成都,611731) 摘 要:为了提高板材厚度参数的测量效率和精度,本系统利用CM0S激光位移传感器,通过激光三角法实现 板材厚度的测量 ,并利用MPC08运动控制卡控制交流伺服系统实现激光位移传感器的测量定位 ,同时计算机对采 集数据进行分析处理、显示和存储 。实验表 明该系统运行稳定可靠 ,测量效率大幅提高。 关键词:运动控制卡;板厚测量;激光三角法;非接触;CM0S Abstrad:IIlordertoimprovemeefficiencyandprecisionofplatethickn~smeasuremem.thesysmmuSesCMOSlaser~splace— mentsenso~,through1aser~ gulationme~odto~alizeplatethicknessmeasuremem,andmeuseofMPC08motionconlrolcardt0 controlACservosysmmofl~er~nsormeasuringposition,attheSalTletimethecompu~rtoal1alyzethedamprocessing,disp1ayand sotrage.Experimentsshow 吐latmesystemrunsstablyand陀bab】y,asubstanti~increaseillefficiencymeag.ul~ment. Keywords:Motioncontrolcard;Thicknessmeasul~ment;L~tsertrianglllalj0n;Non-~ntact;CMOS 中图分类号:IP211 文献标识码:A 文章编号:1001—9227(2012)05-0144—02 0 引 言 厚度是板状材料的重要几何尺寸,随着工业的发展 ● 对板状材料的厚度测量提出了更高的要求,传统的接触式 激 光 测量 已经不能满足时代的需要。激光三角法具有精度高, 非接触,抗干扰强,能实现实时在线检测的特点,在位移 与工件表面三维形貌的测量中得到了广泛的应用… 。本系 统采用基恩士CM0S激光位移传感器通过 自身内部的信号 图2 激光三角法测量原理图 处理有效克服了传统PSD激光位移传感器因为颜色变化, 在图2中,发射光束和接受透镜光轴之间的夹角为 , 材料不同和表面粗糙度不同而过多影响其测量精度的问 光 电检测器件的受光面和接收透镜光轴之间的夹角为 , 题 。系统建立在基于PCI总线的MPC08运动控制卡控制机 接收透镜在基准距离处的物距和像距分别为E和E’,被测 械结构动作与计算机对数据进行管理的基础上,提高了板 物体的距离变化△和光 电检测器件上散射光斑像点的位 材生产效率与测量精度 。 置变化 之间的关系为: 1 系统工作原理 Esin D16 sin 一6sin(0+妒) —

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