连续式扩散炉进气方式的分析与仿真.pdfVIP

学兔兔 务I lI5 似 连续式扩散炉进气方式的分析与仿真 薹 了 现t~AH了．f 流量 而真 的实 中 要 s 反 忧 。 扩散工艺的不 ，规 z ’ 篓 璃 雪 墨 妻窒主 行扩散以 格多 茗 竺AJ -~ InJ，l＼ 蠢器 成PN结 ~ 的规格， ； ， 整个 的化学反应方程 n - F N 4 POC L m 姜 。‘ 5 6 ~ 156日m m 磊 = 3 +30 2+5si5SiO2+6C L + 4 墨 竺 个 三要 2 P。 昱 喜 扩 晷 三 I／．．4 轰1炉,．,1io管／x的1．,一11．．11 些 士 ， 、 陌 击 俯 ． ， m 量考 m ， 舌 长 ’嘉 在扩散过程eN 则能够隔离外界环境O ， 利 气 ： 暑 茬 ： ：’ ， 为扩散提 ～… 一 …一 ～一 … … … ～ 收稿日期：2013-I1-12 基金项目：高效晶硅电池PN结制程工艺及全自动装备研制项目(1 ldz1202600) 作者简介：肖乐 (1990一)，男，广东人，硕士，研究方向为电气控制。 [154] 第36卷 第2期 2014—02(上) 学兔兔 I lI8 似 导气管 炉管 图l 连续式扩散炉气路结构 图2 通气小孔附近的气流不意图 大N2、小N 和O 分别由三根长度均为2000mm 根据恒定气流能量方程 】，可以得到气流在经 的细长导气管通入，由导气管上所开的孔喷出， 过第一个小孔前后各个参数的方程式。 开孔的位置位于导气管的正下方。每根导气管共 ：p2+ + +P (1) ( ) 有5个通气孔，位于导气管中间1000mm的部分， 也就是扩散炉的恒温区域。导气管的内径均为 式中，p代表N 密度，由于导气管近似属于 10ram，通气4qL的直径为2．5mm。 体积不可变的容器，故气体密度在管内不会发生 1．2气流在导气管及通气小孔的流动情况 变化；进气时，N 处于1个大气压、2O℃的状态， 在计算流体力学中，一般把气体流动过程看 该状态下p=1．25kg／m ，Pw(1)代表气流在第一 作理想气体的可逆、等温过程，遵循理想气体的 个小孔时的能量损失。