重力式芯片处理机温度控制技术研究.pdfVIP

· 36 · 工业仪表与 自动化装置 2015年第2期 重力式芯片处理机温度控制技术研究 王志俊，张吉月 (北京石油化工学院，北京 102617) 摘要：重力式芯片处理机温度控制过程中，由于被控对象数学模型的不确定性，运用常规PID 控制存在着调节时间长、易超调和超调后冷却时间长的问题。采用系统辨识的方法确定被控对象 的传递函数，在此基础上，运用了一种分段PID的方法有效地抑制了温度的超调，并减小了调节时 间。仿真和实验证明了该方法的有效性，能满足重力式芯片处理机的工艺要求，同时提高了生产 效率。 关键词 ：重力式芯片处理机 ；温度控制 ；分段 PID 中图分类号：TP273 文献标志码 ：A 文章编号：1000—0682(2015)02—0036—03 Thestudyofgravitychiphandler’stemperaturecontroltechnology WANGZhijun，ZHANGJiyue (BeijingInstituteofPetro—chemicalTechnology，Beifing102617，China) Abstract：Duringthegravitychiphandler’Stemperaturecontrollingprocess，duetotheuncertainty ofthecontrolledobject’Smathematicalmodel，therearesomeproblemswhenusingtheconventionalPID tocontrolthetemperature，suchaslongtimetoadjust，easytoovershootandthenneedalongcooling time．Utilizingasystemidentificationmethodtodeterminethetransferfunctionofthecontrolledobject， andbasedonthis，asectionalPID controlschemeisusedtoinhibitthetemperatureovershootphenome— non，tospeeduptheadjustmentofthetemperaturecontro1．Thesimulationandexperimentalresultsshow theeffectivenessofthemethod，itcanmeetthetechnologicalrequirementsofthegravitychip handler， andimprovetheproductivity． Keywords：gravitychiphandler；temperaturecontrol；sectional PID 随着对控制品质要求的提高，常规 PID控制的 0 引言 缺陷越来越突显出来。。。例如在减少上升时间时 重力式芯片处理机将芯片加热至设定温度后与 容易超调，超调之后冷却缓慢等问题。因此，这就需 芯片测试机握手，测试结束后处理机根据握手信号 要总结出被控对象的模型，采用优于常规 PID控制 将芯片进行分类…。其中，温度控制是进行芯片测 方法，提高温度控制的响应速度，抑制温控的超调。 试并分选的必要条件之一。 目前绝大多数处理机 的 例如，采用模糊PID算法通过隶属度来实现变参数 温度控制采用常规PID控制，由于缺少被控对象的 控制[73，通过神经网络实现参数 自整定等等 』。 数学模型，无法对被控对象做出更合理的控制。针 1 工作原理 对此问