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2017-05-08 发布于广东
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Basic Vacuum --适合初学者或销售助理杭州市滨江区江陵路88 号万轮科技园6 幢2 楼 TEL: +86571FAX :+8657156690970 HTTP//:WWW.SCROLLTEC.COM Advanced Scroll Technologies (Hangzhou) Inc. Page 2 目录一、真空及压力单位 1.1 真空概念4 1.2 常用压力单位转换4 二、真空系统 2.1 真空系统简介6 2.2 真空计（Vacuum Gauge ）7 波尔登规（Bourdon）7 薄膜电容规7 皮拉尼电阻规8 热电偶规8 热阴极电离规8 冷阴极电离规9 2.3 真空阀门9 真空阀门的主要性能指标9 真空法兰 10 阀门选型： 11 2.3 真空密封材料 11 2.4 捕集器 12 2.4.1 挡油帽 12 2.4.2 机械捕集器（阱） 12 2.4.3 冷凝捕集器（冷阱） 13 2.4.4 吸附捕集阱（吸附阱） 13 思科涡旋科技(杭州)有限公司杭州市滨江区江陵路88 号万轮科技园6 幢2 楼 TEL: +86571FAX :+8657156690970 HTTP :WWW .TOPSCROLL.COM Advanced Scroll Technologies (Hangzhou) Inc. Page 3 三、真空系统的设计计算 3.1 气体负荷的计算 14 3.2 饱和蒸气压及其计算 16 3.3 抽气时间和压力的计算 16 3.3.1 真空系统的抽气方程 17 3.3.2 真空室出口的有效抽速 17 3.3.3 抽气时间的计算 17 3.3.4 真空区域的划分20 思科涡旋科技(杭州)有限公司杭州市滨江区江陵路88 号万轮科技园6 幢2 楼 TEL: +86571FAX :+8657156690970 HTTP :WWW .TOPSCROLL.COM Advanced Scroll Technologies (Hangzhou) Inc. Page 4 一、真空及压力单位 1.1 真空概念真空（Vacuum ），是一种不存在任何物质的空间状态，是一种物理现象。事实上，在真空技术里，真空系针对大气而言，一特定空间内部的部份物质被排出，使其压强小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或者真空状态。真空常用帕斯卡（Pa）、毫巴（mbar）或者托尔（Torr ）作为压力单位。目前在自然环境里，只有外太空堪称最接近真空的空间。 1.2 常用压力单位转换 5 1 atm(标准大气压)＝101325 Pa＝ 1.013×10