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BS PAS 133-2007 通用纳米测量和仪器用术语.pdf
PAS 133:2007
PUBLICLY AVAILABLE SPECIFICATION
Terminology for
nanoscale measurement
and instrumentation
ICS 01.040.17; 17.040.99
NO COPYING WITHOUT BSI PERMISSION EXCEPT AS PERMITTED BY COPYRIGHT LAW
PAS 133:2007
Publishing and copyright information
The BSI copyright notice displayed in this document indicates when the
document was last issued.
© BSI 2007
ISBN 978 0 580 61318 0
Publication history
First published December 2007
Amendments issued since publication
Amd. no. Date Text affected
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PAS 133:2007
Contents
Foreword iii
Introduction 1
1 Scope 1
2 General terms 1
3 Nanoscale measurement methods 2
4 Abbreviations 13
Bibliography 14
Summary of pages
This document comprises a front cover, an inside front cover,
pages i to iv, pages 1 to 14, an inside back cover and a back cover.
© BSI 2007 • i
PAS 133:2007
ii • © BSI 2007 This page deliberately left blank
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PAS 133:2007
Foreword
Publishing information
This Publicly Available Specification (PAS) has been commissioned by
the UK Department for Innovation, Universities and Skills (DIUS) and
developed through the British Standards Institution. It came into effect
on 31
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