Ch.01 MEMS概论.pdf

MEMS技术 唐 军 0351-3920397 tangjun@nuc.edu.cn 什么是MEMS？ 微机电系统（MEMS ）是指用微机械 加工技术制作的包括微传感器、微致 动器、微能源等微机械基本部分以及 高性能的电子集成线路组成的微机电 器件与装置。 电子－－－微电子？？？？ 本课程的目的 了解一个新的技术领域 开阔眼界 初步掌握这个技术领域中的基本知识 初步了解MEMS工艺中的重要问题、思路和方法 深入了解部分重要MEMS工艺、典型工艺结果及 相关设备 掌握简单、典型MEMS结构的制备工艺方法 课程内容 MEMS和微系统概论 MEMS器件及其工作原理 MEMS设计及相关理论 MEMS加工工艺 MEMS发展的相关前沿技术 考试：考试70%+课堂10%+作业20% 第一章 MEMS和微系统概论 MEMS 的基本概念 MEMS工艺 微机电系统基本概念 What ？ What are MEMS? Micro - 尺寸，微加工，微结构 Electro - 电信号传输 /控制 微机电系统 Mechanical - 机械功能（力、声、光、热） Systems - 结构、器件、系统 - 控制 机械、电子、系统 微机械、微电子、微系统 尺度 Factor Prefix Symbol Factor Prefix Symbol 10+24 yotta Y 10-24 yocto y 10+21 zetta Z 10-21 zepto z 10+18 exa E 10-18 atto a 10+15 peta P 10-15 femto f 10+12 tera T 10-12 pico p 10+9 giga G 10-9 nano n 10+6 mega M 10-6 micro  μ 10+3 kilo k 10-3 milli m 10+2 hecto h 10-2 centi c 10+1 deca da 10-1 deci d 典型尺寸 15 1光年=9.46×10 米 美特好到中北大学15公里 人身高1.x米 小米直