多通道柔性神经微电极加工工艺6.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １０ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１０ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １０ Ｏｃｔ．２００９ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９１０２４６５０８ 　 多通道柔性神经微电极加工工艺 ， １４ １ ２ ３ ３ １ 邢玉梅 ，惠 春 ，徐爱兰 ，李 刚 ，赵建龙 ，任秋实 　 　 （ 上海交通大学 生命科学技术学院，上海 ； １． ２００２４０ ２．上海交通大学 微纳科学技术研究院，上海 ２００２４０； ３．中国科学院 上海微系统与信息技术研究所，上海 ２０００５０； ４．上海大学理学院 纳微能源研究所，上海 ２００４４４） 摘要：针对多通道柔性神经微电极的设计及制作，研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料———聚对 二甲苯（ ）作为微电极的基底和绝缘材料，借助微细加工技术，制作了 通道（按 矩阵排列）的柔性神经 ａｒｌｅｎｅＣ ３６ ６×６ ｐ ｙ 微电极，微电极的尺寸分别为Φ１５０ ｍ（圆形）和１５０ ｍ×１５０ ｍ（方形），电极引线线宽为３０ ｍ。无论微电极为圆形或 μ μ μ μ 方形，表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明， 时微电极的阻抗仅为 左右，且随着频率的增加， １ｋＨｚ ７ｋΩ 阻抗逐渐降低，呈明显高通特性。微电极加工质量较好，电学性能优良，实现了微电极和柔性基底的集成，有利于高效率 批量制作，为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。 关 键 词：神经微电极；柔性基底；聚对二甲苯；微细加工 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＰ２１２．３ Ｒ３３８ Ａ 　　 犕犻犮狉狅犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳 犿狌犾狋犻犮犺犪狀狀犲犾犳犾犲狓犻犫犾犲狀犲狌狉犪犾犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犱犲狊 ， １４ １ ２ ３ ３ １ ， ， ， ， ，