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主要内容安排: 1.干膜介绍及发展趋势 2.线路板图形制作工艺(以SES流程为例) 3.基本工艺要求 4.各工序注意事项 5.常见缺陷图片及成因 6.讨论 1. 干膜介绍及发展趋势 干膜(Dry Film)的用途: 干膜是一种感光材料,是PCB生产中的重要物料,用于线路板图形的转移制作。近几年也开始广泛应用于选择性化金、电镀金工艺。 1. 干膜介绍及发展趋势 1. 干膜介绍及发展趋势 1. 干膜介绍及发展趋势 干膜性能的评估 解晰度 附着力 盖孔能力 填凹陷能力 其他 1. 干膜介绍及发展趋势 为了达到线路板的多层和高密度要求,目前干膜一般解像度要达到线宽间距(L/S)在50/50um。但在半导体包装(BGA, CSP)上,线路板一般设计在 L/S在 25-40 um。必需要高解像度的干膜(L/S = 10/10 um)。为了满足客户要求、我们公司目前新型干膜的解像度可达到L/S = 7.5/7.5 um。 1. 干膜介绍及发展趋势 1. 干膜介绍及发展趋势 2. 线路板图形制作工艺 SES工艺流程详细介绍 前处理的作用:去除铜表面的氧化,油污,清洁、粗化铜面,以增大干膜在铜面上的附着力。 前处理的种类:化学微蚀、物理磨板、喷砂处理(火山灰、氧化铝)。 典型前处理工艺流程: 除油——水洗——磨板——水洗——微蚀——水洗——酸洗——水洗——烘干 基本工艺要求 前处理 刷轮目数 : #500~#800 刷轮数量 : 上下两对刷轮(共4支) 磨刷电流 : +1~2A 转速 : 1800转/分钟 摇摆 : 300次/分钟 磨痕宽度 :10~15mm 微蚀量 :0.8~1.2um (一般采用SPS+硫酸或硫酸+双氧水溶液,生产 板要求较高时则采用超粗化表面处理) 酸洗浓度 :3~5%硫酸溶液 基本工艺要求 前处理 水洗 : 多过3个缸(循环水)喷淋压力:1- 3Kgf/cm2 吸干: 通常用2支海绵吸水辘 烘干:热风吹风量为 4.0~9.0m3/min 热风的温度为70~90℃ 其它控制项目 :水裂点:15s 粗糙度1.5Rz3.0 工序注意事项 前处理 贴膜: 贴膜的作用:是将干膜贴在粗化的铜面上。 贴膜机将干膜通过热压辘与铜面附着,同时撕掉PE膜。 基本工艺要求 贴膜 工序注意事项 贴膜 曝光: 曝光的作用是曝光机的紫外线通过底片使干膜上部分图形感光,从而使图形转移到铜面上。 基本工艺要求 曝光 工序注意事项 曝光 显影: 基本工艺要求 显影 工序注意事项 显影 电镀铜+锡/锡铅: 基本工艺要求 电镀铜+锡或锡铅 去膜: 去膜: 基本工艺要求 去膜 蚀刻: 去锡/锡铅: 基本工艺要求 蚀刻、去锡/锡铅 工序注意事项 去膜 5.常见缺陷图片及成因 5.常见缺陷图片及成因 6. 讨论 谢 谢 大 家! SES工艺流程详细介绍 去膜的原理: C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O H C O O C O O C O O C O O C O O C O O C O O C O O H C O O C O O C O O - - - - - - - - - - - N a + N a + N a + N a + N a + N a + N a + N a + N a + N a + N a + 去膜 N a O H / H 2 O R e l a x a t i o n 去膜液浓度 :2.0~3.0%(NaOH浓度) 去膜液温度 :45~55 ℃ 去膜压力 :2.0~3.0kgf/cm2 水洗压力 :1.0~3.0kgf/cm2 去膜点 :50~60% SES工艺流程详细介绍 蚀刻的作用: 用蚀刻液将非线路图形部分的铜面蚀刻掉,而在锡或锡铅下的铜则不能被蚀刻。 SES工艺流程详细介绍 去锡/锡铅的作用: 用去锡/锡铅药液将锡/锡铅去掉,露出需要的线路。 以蚀刻药水和去锡药水供应商工艺要求为准。 各段喷嘴不能堵塞; 去膜液浓度
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