PBPC1000气体背压控制器.pdf

PBPC-1000 气体背压控制器 用户说明书 上海睿熹科技有限公司 ShangHai WiseChoose Technology Co.,Ltd PBPC-1000 气体背压控制器 PBPC-1000 气体背压控制器 产品特点 高精度气体背压控制器（控制精度为设定值0.1% ） 取代传统的手动调节的气体控制部件即气体背压阀 采用专利的Snap-together 结构，带有温度补偿和校准的小型压力传感器 气体压力数字化标定（出厂前已标定）和压力调零功能 快速响应时间（设定值1%范围内0.5s ） 输出方式灵活，采用数字化输入/输出接口（RS-232 ），可根据用户需求量身定做通讯模 式 双极性电源供电（DC+15V ）和（DC-15V ） 产品应用 研究实验室的试验工场装置； 分析仪器（气相色谱仪）、环境设备气体压力控制； 化学和石化工业的气体压力监控； 气体混合和环境的控制； 半导体制造业； 气体浓度分配器； 压力质量流量控制器； 主要技术指标 规格 条件 数值 单位 备注 范围： 产品型号 PBPC1000-C 流量范围 600 Kpa 性能指标： 准确度 1～100%FS ±0.1 Kpa 10%FS ±0.1 Kpa 重复精度 ±0.2 %F.S 响应时间 设定压力值 0.5 S 秒 1%范围内 工作压差范围 50～700 Kpa 耐压 1 Mpa 工作环境温度 5℃～45 ℃ ℃ -6 外部泄漏率 He 1×10 ml/s 输入电源 DC+15V( ±0.5V 500mA) V DC-15V(100mA) 通讯方式 数字量 ■ RS-232 □ RS-485 □ RS-232 （TTL 电平） 引线 标准RS-232 Sub-D8 芯 上海睿熹科技有限公司 2 PBPC-1000 气体背压控制器 注意： 标准状态规定为： 温度——25 ℃ 气压——101Kpa F.S （Full Scale ）: 满量程 工作原理 气体背压控制器（PBPC ）由气体压力传感器部件、流量控制部件、比例阀体部件和气 体流路部件组成。其结构框图如下：