信息技术快报5-9-集成电路技术.pdf

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3 9 Vol. 3.No.9 Information Technology Letter Sep.2005 Information Technology Letter 2005 3 9 (28 ) : 2005 9 6 , 20 70 1999 1250 ,GNP 3%l~2 10 , 100 GDP[5]10 ,15%, 2010 6000~8000 30%2000 2004 3 2000 1.2%3.7% CMOS1 2 3 SiGe AsGa CMOSCMOS MOS1/2 metal pitchmetal pitch = + 1/2poly pitchpoly pitch = + [1] Moore 0.13µmIntelTIIBMIDM4 90nmITRS[3]80nm1/2 pitch 2008 57nm 1/2 pitch[1] 1 Complementary Metal Oxide Semiconductor 2 Silicon Germanium 3

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