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申请号：200610066420.5
申请日：2006-03-30
申请(专利权)人京东方科技集团股份有限公司
地址 100016北京市朝阳区酒仙桥路10号
发明(设计)人王章涛 邱海军 陈旭 闵泰烨 林承武
主分类号 H01L21/768(2006.01)I
分类号 H01L21/768(2006.01)I
公开(公告)号101047145
公开(公告)日2007-10-03
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注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
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