直拉单晶棒少寿子命的检测.ppt

籽晶晶体定向的检测 Detection of seed crystal orientation Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 检测依据及设备、原理 检测作业指导书 检测数据分析 2 3 4 采样及其样品处理 1 检测报告书 5 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 采样及其样品处理 一、采样 1、单晶棒 2、单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性 二、样品处理 1、试样待测面用28~42μm或20~28μm金刚砂研磨或喷砂。 2、 对圆片试样，用5~14μm氧化铝或金刚砂研磨上下表面。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 检测依据 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 检测设备 Ｘ射线晶体定向仪原理： 如果波长为λ的单色X射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsinθ=nλ，对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为2θ的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。 X射线的性质： 感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、 衍射作用 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一台X射线定向仪主要由下几个部份组成： （1）X射线发生部分 （2）X射线检测部分 （3）样品台及转角测量部分 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 检测作业指导书 1、对晶体要求： ⑴在检测前首先确认被测晶体是否为单晶； ⑵定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面； ㈢记住样品假定的方向。 2、实验仪器： X射线定向仪、硅片 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.  3、实验步骤： ①用前，开机预热5-10min； ②查表，找与之对应的布喇格角θ； ③调节盖革计数管放置在2θ的位置上； ④开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间； ⑤开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值； ⑥换硅片，重复第5步操作； ⑦当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180?，重复上面步骤，两次测量结果取平均值； ⑧将样品位置复原后，旋转90? 后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值 ⑨利用 公式，当 时，计算出 Φ 值 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 数据分析 数据 测试值 x 15°19′ -x 14°48′ y 14°26′ -y 16°14′ Evaluation only. Created with Aspose.Slides